Gebraucht ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9232658 zu verkaufen

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e (Spectrum 3e) ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der entwickelt wurde, um eine hochgenaue Substratbelichtung für die Herstellung von Mikroelektronik bereitzustellen. Mit einer zum Patent angemeldeten Messtechnik mit Einzelreflexion von ULTRATECH nutzt sie die neueste Technologie, um präzise, wiederholbare Ergebnisse für jedes Substrat jeder Größe zu liefern. Die fortschrittliche Optik des Spectrum 3e wurde entwickelt, um genaues Overlay für Gräben, Isolation, Lithographie, dielektrisches Ätzen und mehr zu liefern. Es verfügt über ein berührungsloses, geräuscharmes und wartungsarmes AutoFocus-System, das sich schnell an die Höhenunterschiede des Substrats anpasst. Die fortschrittliche hochauflösende Bildaufnahme- und Inspektionseinheit hilft bei der Fehlervermeidung und bietet eine Sub2-Mikron-Auflösung über das gesamte Feld. Darüber hinaus bietet eine verbesserte Belichtungsmaschine eine flexible Palette von Anforderungen an Wafer und Prozessbelichtung. Das Gerät verwendet ein hochmodernes Stufenpositionierungswerkzeug für Präzisionsrobotik, das eine gleichbleibende Genauigkeit auf allen Fokusebenen gewährleistet. Die erweiterte Mehrpunkt-Kalibrierausrichtung überprüft und erfasst die Position jedes Substrats. Das Spectrum 3e verfügt auch über eine maßgeschneiderte Laserquelle, die Farbstofflaser und Halbleiterlaser für verbesserte Bildgebungs- und Ätzfunktionen verwendet. Das Spectrum 3e enthält ein vollständiges Softwarepaket zur verbesserten Prozesssteuerung, einschließlich Programmieroptionen, um Rezepte für jede Belichtung anzupassen. Das Gerät ist auch mit einem internen Prädiktor für Belichtungszeit und Dosiergenauigkeit ausgestattet. Darüber hinaus bietet ein branchenführendes Online-Monitoring-Asset Betreibern Echtzeit-Feedback zur Geräteleistung. In Bezug auf die Sicherheit ist das Spectrum 3e für die Sicherheit mit UL/ENL bewertet und verfügt über ein Bewegungsstat-Tracking-Modell, um Anomalien der Ausrüstung zu erkennen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über die neuesten Diagnosefunktionen, um eine optimale Sicherheit zu gewährleisten und gleichzeitig Ausfallzeiten zu reduzieren. Der umfassende und präzise ULTRATECH Spectrum 3e Wafer Stepper ist eine ideale Wahl für jede Mikroelektronik, die die Substratgenauigkeit und Prozesskompatibilität maximieren möchte. Die fortschrittliche Optik und das bildgebende System bieten eine unschlagbare Genauigkeit und Prozesseffizienz, während die umfassenden Sicherheitsmerkmale die Prozesssicherheit gewährleisten.