Gebraucht ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9378645 zu verkaufen

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e ist ein hochmoderner Präzisionswafer Stepper, der von ULTRATECH entwickelt wurde. Es verfügt über eine hochpräzise, automatisierte Stufe, die Wafer mit besserer Gleichmäßigkeit und Genauigkeit als konkurrenzfähige Stepper-Lösungen bewegt. ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3 E führt mit einer ultragenauen Zeiss Carl Zeiss Optics Beam Path Ausrüstung präzise Belichtungsmuster auf dem Wafer durch. Das Optiksystem besteht aus einem Hochleistungslaser, einer Beleuchtungslinse und einer Projektionslinse zur Erfassung der Muster von einer Maskenplatte auf den Wafer. Saturn Spectrum 3e verfügt über eine erweiterte „Autofocus Sequence Control“ -Einheit (ASCS), mit der der Bediener die Fokuseinstellungen für die gewünschten Anforderungen optimieren kann. Die ASCS-Maschine bietet auch Makro- und Mikrolinsenprofile, die die Intensität und den Fokus des Lasers anpassen, um Bilder von hoher Qualität zu gewährleisten. SATURN SPECTRUM 3 E ist mit einem 25W Festkörperlaser ausgestattet, der die Direkt-Schreib-Technologie verwendet, um die Wiederherstellungszeit zu reduzieren und die Qualität der auf den Wafer geschriebenen Muster zu verbessern. Dieses innovative Laserwerkzeug ist in der Lage, kleine Funktionsgrößen mit ausgezeichneter Kantenschärfe und ausgezeichneter Fokustiefe zu scannen. ULTRATECH Saturn Spectrum 3e verfügt über ein vollautomatisches Prozesssteuerungsmodul, das es Betreibern ermöglicht, prozessinterne Prozessvariationen zu überwachen und vorausschauende Diagnosefunktionen bereitzustellen. Dieses Modul ermöglicht es dem Bediener auch, die Parameter für jeden Wafer basierend auf seinem Material und seinem Prozessrezept anzupassen, ohne manuell die Einstellungen des Steppers ändern zu müssen. Die geschlossenen Optimierungsmöglichkeiten des Steppers ermöglichen eine präzisere Strukturierung mit höherer Genauigkeit Das Design von ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3 E ermöglicht einen hohen Durchsatz und Genauigkeit für eine Vielzahl von Anwendungen zur Strukturierung von Halbleiterschaltungen. Dieser Stepper bietet schnelle, zuverlässige und kostengünstige Leistung für Prozesse wie Photolithographie, Ionenfräsen und physikalische Aufdampfung. Es wurde entwickelt, um sowohl mit optischen als auch mit thermisch stabilen Materialien zu arbeiten. Saturn Spectrum 3e verfügt über eine Vielzahl von Optionen wie programmierbare Fehlerkorrekturwerkzeuge, spezielle Belichtungsmasken, erweiterte Automatisierungsfunktionen, Funktionen zur automatischen Optimierung und automatischen Ausrichtung sowie eine anspruchsvolle Metrologie-Suite, die eine Vielzahl von In-Line-Optik- und Scantechniken unterstützt. Abschließend ist SATURN SPECTRUM 3 E ein hochpräziser Waferstepper auf dem neuesten Stand der Technik, der bahnbrechende Leistungen für die Strukturierung von Prozessen mit einer breiten Palette von Substratmaterialien bietet. Es verfügt über hochgenaue und automatisierte Funktionen, die die Prozessvariation reduzieren und zuverlässige Prozessleistung bieten. Es ist das ideale Werkzeug für Präzisionsmusteranwendungen in der Halbleiterindustrie.