Gebraucht ULTRATECH Spectrum 3 #9395523 zu verkaufen

Hersteller
ULTRATECH
Modell
Spectrum 3
ID: 9395523
Wafergröße: 6"-8"
Stepper, 6"-8".
ULTRATECH Spectrum 3 ist ein Wafer-Stepper mit dem Fokus auf eine präzise Verarbeitung und Optimierung des Herstellungsprozesses von mikroelektronischen Bauelementen. Dieser Stepper ist für hochauflösende Lithographie konzipiert und bietet Präzision und hohen Durchsatz für den anspruchsvollen Prozess der Herstellung kleiner Funktionsgrößen. Spektrum 3 verfügt über ein 254nm laserbasiertes System, das intensives UV-Licht erzeugt, das in der Lage ist, eine Vielzahl fortschrittlicher Muster auf Halbleiterscheiben zu schreiben. Dieser Stepper verfügt auch über erweiterte Bildgebungsfunktionen. Die Schlitzabtastung der Wafer-Performance-Matrix optimiert die Belichtung jedes Kristallelements und gewährleistet höchste Qualität der Kopien. Darüber hinaus führt die DIS-Funktion (Digital Image Stabilization) zu einer überlegenen Overlay-Ausrichtung und einer glatteren Bildausgabe. ULTRATECH Spectrum 3 ist mit einer hohen Schärfentiefe und einem optimierten Fokussiersystem zur Erhöhung des Durchsatzes konzipiert. Seine fortschrittliche Optik erhöht auch die Substratgrößenfähigkeit bei gleichbleibender Fokus- und Overlay-Genauigkeit, mit Unterstützung für 5 „- und 8“ -Wafer. Es ist auch kompatibel mit einer Vielzahl von lithographischen Materialien wie SOG, tiefe UV-Epoxide und PIBC. Abgesehen von seinen fortschrittlichen Lithographie-Funktionen ist Spectrum 3 mit einer Vielzahl von spezialisierten Funktionen konzipiert. Es unterstützt verschiedene erweiterte Funktionen wie Substrat-Routing, sowohl in-Site-und Cross-Site-Nähen, und serielle Overlay-Ausrichtung. Sein hoher Durchsatz und seine Genauigkeit reduzieren auch die Zeit, die benötigt wird, um Feedback für die Lithographie-Kontrolle zu gewinnen. Darüber hinaus ist dieser Stepper mit einer chemikalienbeständigen Konstruktion ausgelegt, die es ermöglicht, Belichtungs- und Verarbeitungsbedingungen außerhalb des Anwendungsbereichs herkömmlicher Stepper zu bewältigen. Insgesamt ist ULTRATECH Spectrum 3 ein leistungsstarker Wafer-Stepper, der für die fortschrittliche mikroelektronische Geräteherstellung entwickelt wurde. Durch seine hochauflösenden Lithographiefähigkeiten und spezialisierten Funktionen kann dieser Stepper einen ausgezeichneten Durchsatz und eine exzellente Genauigkeit bieten, wodurch er die perfekte Wahl für hochpräzise und technologisch fortschrittliche Operationen ist.
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