Gebraucht ULTRATECH Spectrum 3e #9249076 zu verkaufen

ULTRATECH Spectrum 3e ist ein High-End-Wafer-Stepper mit mittlerer Reichweite, der als kostengünstige Lösung für die Anforderungen neuer Lithographieanwendungen konzipiert wurde. Dieser Stepper wurde entwickelt, um eine präzise und wiederholbare Abbildung von Wafern zu ermöglichen. Das Spektrum 3e ist in der Lage, Waferbilder von höchster Qualität mit Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu erzeugen und bietet eine überlegene Prozesskontrolle kritischer Lithographieparameter für konsistente Leistung. ULTRATECH Spectrum 3e verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Funktionen und leistungsstarker Werkzeuge, um den Durchsatz und die Ausgabegenauigkeit zu erhöhen. Die benutzerfreundliche Schnittstellenausrüstung ermöglicht eine präzise Steuerung der bildgebenden Parameter und eine schnelle Einrichtung, wodurch dieser Stepper perfekt für schnelle Umlaufzeiten und qualitativ hochwertige Ergebnisse ist. Der Lithographiekopf der Maschine bietet eine variable numerische Öffnung und Ablenkung, die Schrittgröße und Wiederholbarkeit verbessert, ohne die Genauigkeit zu beeinträchtigen. Darüber hinaus bietet der integrierte Optikentzerrer präzise Genauigkeit für die Eingabe und Ausrichtung anspruchsvoller Retikel. Der Stepper beherbergt auch ein integriertes Overlay-Messsystem, das berührungslose, zerstörungsfreie Messungen von 3D-Schichten und Maskenbildhöhen bietet. Zusätzlich können UV-LED oder Quecksilber-Lichtbogenlampen für die Belichtung verwendet werden, was die Flexibilität ermöglicht, sowohl Prozess- als auch Auflösungsanforderungen zu optimieren und gleichzeitig eine geringe Partikeleinführung und Bildqualität beizubehalten. Die integrierte Retikle-Inspektionseinheit verfügt über überlegene Auflösungsfunktionen, die einen höheren Durchsatz und höhere Ausbeute ermöglichen. Der fortschrittliche Retikel-Scanner von Spectrum 3e kann Fehler, die so klein wie 0,3 Mikrometer sind, genau erkennen, so dass selbst die schwierigsten Defekte und Anomalien erkannt werden können. Diese Maschine unterstützt auch 2D- und 3D-Scanfunktionen von schrägen und Profilansichten. ULTRATECH Spectrum 3e bietet auch eine Reihe weiterer Funktionen, die zu seinem Status als leistungsfähiges, kostengünstiges Werkzeug beitragen. Es bietet Vakuumhaltevorgänge, einstellbare Höhenstufen und eine automatische Pegelüberwachung, die den Benutzer benachrichtigen kann, wenn sich ein kritischer Parameter unerwartet ändert. Darüber hinaus steuert eine fortschrittliche MOSFET-Trockenpumpe den Luftdruck und den Gasstrom, während Massenstromregler bei der Gewährleistung einer sauberen Umgebung und der Vermeidung von Verschmutzungen helfen. Spectrum 3e ist ein zuverlässiger und leistungsfähiger Wafer-Stepper, der eine hochgenaue und wiederholbare bildgebende Lösung für alle Ihre Lithographie-Anforderungen bietet. Dank seiner leistungsstarken Funktionen und fortschrittlichen Technologien bietet ULTRATECH Spectrum 3e eine hervorragende Leistung, was letztlich zu höherer Qualität und höherem Ertrag führt.