Gebraucht ULTRATECH Star 100 #293617180 zu verkaufen
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ID: 293617180
Weinlese: 2006
Stepper
Illumination field size: 39 x 18 mm
Light pipe type: Diffuser
Field size: 30 x 18 mm
MVS Type:
Patmax
Series 2 bridge
Flipper less
Reticle size: 3" x 5"
PC With windows 2000 Platform
Air probe type: Round
Edge switch: Air probe
Theta stage: Pop-up
Wafer handler:
Round chuck, 4"
Autoloader, 4"
Options:
Chuck and autoloader, 5" and 6"
Upgraded to automation robot system
2006 vintage.
ULTRATECH Star 100 ist ein Wafer-Stepper für fortschrittliche photolithographische Prozesse. Es bietet eine hervorragende Auflösung und Genauigkeit für verschiedene zentrale Prozesse wie Messtechnik und Inspektion, was einen einfacheren und effizienteren Produktionsprozess ermöglicht. ULTRATECH STAR100 ist ein fortschrittlicher photolithographischer Stepper, der in der Lage ist, eine breite Palette von Wafergrößen von 6-Zoll bis 12-Zoll zu handhaben. Es verfügt über eine Hochleistungs-UV-Quelle mit 350 W Lampe, 0,25 - 4,00 NA numerische Apertur katadioptrische Beleuchtung, zusammen mit 10X/6X optischen Reduktion. Dadurch kann das Gerät hochauflösende Bilder mit guter Schärfentiefe, Schärfentiefe und kontrastreicher Bildungewissheit erstellen. Star 100 ist mit Positioniersystemen sowohl auf der Waferebene als auch auf Stufen- und Wiederholungsebenen ausgestattet. Dies ermöglicht eine hohe Genauigkeit mit schnell wiederholter Positionierung und einer hohen Stufen- und Wiederholrate, wodurch größere Prozessbereiche schneller abgedeckt werden können, während die Genauigkeit des Prozesses hoch bleibt. Zusätzlich ist der Stepper mit einer motorisierten Waferbühne ausgestattet, die eine schnelle und genaue Waferausrichtung ermöglicht. STAR100 verfügt auch über eine interaktive Benutzeroberfläche, die einfach und einfach zu bedienen ist. Der Benutzer hat die Möglichkeit, auf eine Vielzahl von Anwendungssoftware zur grafischen Darstellung und Analyse der Daten zuzugreifen. Dadurch kann der Benutzer Daten sowohl in grafischen als auch in numerischen Formaten überprüfen. Zusätzlich kann die Benutzeroberfläche auch zum Einrichten und Steuern der Belichtungsparameter verwendet werden. ULTRATECH Stern 100 ist ein Führer in der Fotolithographieoblate Schrittindustrie, ausgezeichnete Entschlossenheit und Genauigkeit für fortgeschrittene Anwendungen bereitstellend. Es verfügt über ein motorisiertes Wafer-Positioniersystem und eine Benutzeroberfläche zur einfachen Einstellung und Bedienung. Darüber hinaus ermöglicht die Hochleistungs-UV-Quelle die Erstellung hochauflösender Bilder mit guter Schärfentiefe und Schärfentiefe, wodurch in jedem Bild feinere Details erzeugt werden können. ULTRATECH STAR100 ist die perfekte Lösung für Anwender, die einen leistungsstarken und zuverlässigen photolithographischen Stepper benötigen.
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