Gebraucht ULTRATECH Titan 4700 #293628670 zu verkaufen

Hersteller
ULTRATECH
Modell
Titan 4700
ID: 293628670
Wafergröße: 4"-8"
Weinlese: 1996
Stepper, 4"-8" G&H Line optics Lamp, 1000 W Extended focus option for thick resist exposure capability GENMARK Robot Reticle, 5" (Capable of upgrading to 6") Reticle barcode reader COGNEX Machine Vision System (MVS) Maximum FOV: 44 mm x 26.7 mm Numerical aperture: 0.32 Pneumatic-lock movable handler 1996 vintage.
ULTRATECH Titan 4700 Wafer Stepper ist eine hochmoderne, präzise Lithographie-Maschine für die schnelle Herstellung von mikroelektronischen Geräten. Es ist in der Lage, Großserienproduktion von Fan-Out-Wafern, HF-Geräten, Displays, Substraten und anderen mikrostrukturierten Komponenten durchzuführen. Der Titan 4700 Stepper verfügt über ein Hochgeschwindigkeitsgerät mit mehreren Ebenen, das die präzise, gleichmäßige Abscheidung und Übertragung von Photolackschichten auf den Oberflächen eines Wafers ermöglicht. Mit seiner wiederholbaren Präzision eignet sich ULTRATECH Titan 4700 ideal für die Massenproduktion von Sub-Micron-Funktionen auf 12,5 und 15,2 cm Wafern. Der Titan 4700 Stepper ist mit einem Nicolette Dual-Beam-System ausgestattet, einer Dual-Layer-Laserquelle mit zwei Wellenlängen, die sowohl HeNe als auch KrF-Strahlen für mehr Ätzleistung und Filmqualitätskontrolle erzeugt. Es verfügt auch über einen Tauben-Prisma-Strahlteiler und ein Paar Breitfeldkondensatorlinsen, die es ermöglichen, Komponenten bis zu 0,25 µm mit überlegener Genauigkeit leicht abzubilden. Darüber hinaus bietet ULTRATECH Titan 4700 eine extrem genaue Schrittausrichtung, um eine möglichst genaue Produktion zu gewährleisten, sowie eine adaptive Optik zur Korrektur von Fehlern in der optischen Einheit. Titan 4.700 Schritt-verwertet ein Oblatenniveau, Kassette-zu-Kassette-Arbeitsmaschine, um schnelle, effiziente Be-und Entladung von Oblaten zu erleichtern. Die fortschrittlichen Vakuum- und Gas-Handling-Systeme bieten die notwendige Umgebung für eine saubere, hochwertige Waferproduktion. Benutzer von ULTRATECH Titan 4700 können die Maschine auch so konfigurieren, dass sie die Wafer automatisch für eine überlegene Ätzwiederholbarkeit ausrichten. Darüber hinaus können sie das UMARA™ (Universal Mask and Reticle Alignment) -Werkzeug programmieren, das Masken und Reticles für eine zuverlässige, wiederholbare Verarbeitung sehr genau auf den Wafer ausrichtet. Schließlich ist Titan 4700 mit produktivitätssteigernden Funktionen wie Prozessmarken, Positionierung auf zwei Ebenen, automatische Belichtung und Fokus-Tracking, Feldanpassung und anpassbares Rezept-Laden ausgestattet. Diese Eigenschaften, zusammen mit der großen Funktionsgröße und der unübertroffenen Präzision von ULTRATECH Titan 4700, machen diesen Wafer-Stepper ideal für eine kostengünstige, serienmäßige Produktion von mikroelektronischen Komponenten.
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