Gebraucht ULTRATECH Titan 4700 #293751572 zu verkaufen
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ULTRATECH Titan 4700 ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper für Multimuster-Lithographieanwendungen. Es ist in der Lage, hochauflösende Fotos in verschiedenen Winkeln und Tiefen aufzunehmen und Ertragsmuster auf einer ganzen Reihe von Substraten zu liefern, einschließlich Silizium, Keramik und Verbundmaterialien. Titan 4700 wurde entwickelt, um Zykluszeiten zu reduzieren und die Bedienung durch die Kombination von Prozessautomatisierung und Messtechnik mit einer hochauflösenden bildgebenden Ausrüstung zu vereinfachen. Das bildgebende System verwendet Hochgeschwindigkeitsoptiken und eine ultradünne Photomaske, um hochauflösende Bilder mit weniger als 0,5 Prozent der linearen Bildverzerrung zu erzeugen. Der Wafer-Stepper optimiert zudem die Belichtungseigenschaften des Belichtungswerkzeugs für eine höhere Genauigkeit bei Musterprozessen. Das Gerät wird von leistungsstarken High-Speed-Prozessoren und einer digitalen Videokamera für verbesserte Genauigkeit und Flexibilität angetrieben. Die schnellen Verarbeitungsmöglichkeiten ermöglichen es dem Stepper, komplexe Muster aus kleineren Photomasken zu erzeugen. Das Belichtungswerkzeug hat mehrere Belichtungsmodalitäten, einschließlich telezentrischer Scan-Modus für maximalen Fokus und einen optimierten Schmalwinkel-Belichtungsmodus für hochgenaue Bildgebung über verschiedene Substrate. ULTRATECH Titan 4700 enthält auch eine automatisierte Präzisionsausrichtmaschine, die die Effizienz in mehrstufigen Lithographieverfahren mit größerer Genauigkeit erhöht. Mit einem vollautomatischen Ausrichtwerkzeug kann die Maschine die Maskenposition mit Submikron-Präzision genau einstellen. Diese Fähigkeit reduziert die Zykluszeit insgesamt und ermöglicht eine effizientere Produktion von Hochleistungsmustern. Das Asset verfügt auch über erweiterte messtechnische Funktionen, einschließlich Ausrichtungsmesstechnik und Mustermesstechnik, die hochauflösende Leistung ermöglichen. Die Ausrichtungsmesstechnik ermöglicht prozessinterne Messungen und diagnostische Beurteilungen, um Genauigkeit und Qualität der Strukturierung zu gewährleisten. Die Mustermesstechnik bietet zusätzliche Messungen wie die Musterprofilanalyse, die Abbildung von Querschnittmerkmalen und die Vergleichbarkeit von Mustern für eine höhere Qualitätskontrolle. Titan 4700 ist ein hochmoderner Wafer-Stepper zur Optimierung von Lithographie-Prozessen und zur Erhöhung des Durchsatzes. Sein fortschrittliches Bildgebungsmodell und seine komplexen Strukturierungsmöglichkeiten bieten hochauflösende Bildgebung und genaue Strukturierung auf einer breiten Palette von Substraten. Die automatisierten Funktionen zur Präzisionsausrichtung und Messtechnik ermöglichen qualitativ hochwertigere Ergebnisse und eine verbesserte Zykluszeitleistung. ULTRATECH Titan 4700 ist mit seiner Vielseitigkeit eine ideale Wahl für mehrstufige Lithographieverfahren und ertragsstarke Musteranwendungen.
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