Gebraucht ULTRATECH Unity AP200 #9280624 zu verkaufen

ULTRATECH Unity AP200
Hersteller
ULTRATECH
Modell
Unity AP200
ID: 9280624
Weinlese: 2017
Stepper 2017 vintage.
ULTRATECH Einheit AP200 Schritt-Oblate ist eine fortgeschrittene Stief-Und-Mehrmaligsteindruckverfahrenausrüstung, die für den Gebrauch in der Halbleiterherstellung entworfen ist. Es ist in der Lage, gemusterte Bilder auf bis zu 200mm Wafern in einer einzigen Aufnahme zu belichten. Die Lithographie-Optik von UNITY AP200 bietet eine hohe numerische Apertur (NA) von NA = 0,6 für detailliertere Bilder. Das System ist mit einer digitalen Bildaufnahmekamera mit 3.3Mega Pixeln ausgestattet, die ein Sichtfeld von 30 mm x 40 mm bietet. Die Kamera verwendet einen rauscharmen Bildgebungssensor, um einen dynamischen Bildbereich von 14-Bit-Tiefenauflösung zu liefern. Dies ermöglicht eine genauere Wiedergabe von Bildern auf dem Wafer. Die elektromechanischen Komponenten von ULTRATECH Unity AP200 sind mit hoher Präzision und Zuverlässigkeit ausgelegt. Dies wird durch die folgenden Merkmale des Geräts ermöglicht: eine 6-Achsen-Bewegungsmaschine zur präzisen Ausrichtung und Positionierung von Wafern, hochpräzise Drehstufen zur Drehgenauigkeit von bis zu 5 Bogensekunden und hohe lineare Geschwindigkeit von bis zu 2500 mm/s. Die Algorithmen von Unity AP200 ermöglichen die Belichtung komplexer Muster mit hoher Genauigkeit. Sie umfassen hochschwellige Unterstützungsmuster für nichtlineare Scanmuster und Backend-Musterungen, um unterschiedliche Mustertypen und minimale Programmgrößen zu ermöglichen. ULTRATECH Unity AP200 umfasst außerdem ein externes Laserinterferometer zur automatischen Fokusregelung, einen integrierten Partikelmonitor zum Schutz der Optik und ein Kühlwerkzeug zur Reduzierung thermischer Effekte auf die Performance des Asset. Darüber hinaus ist das Modell auf einfache Bedienung ausgelegt, mit einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche (GUI), einer offenen Architektur und einem Software Development Kit (SDK). Diese Funktionen stellen sicher, dass Benutzer Bilder für eine Vielzahl von Anwendungen einfach programmieren und verarbeiten können. Insgesamt ist Unity AP200 Wafer Stepper eine fortschrittliche, zuverlässige Lithographie-Ausrüstung, die eine präzise und genaue Abbildung von Mustern auf 200mm-Wafern bietet. Seine benutzerfreundliche Schnittstelle, hochpräzise mechanische Komponenten und robuste Algorithmen ermöglichen die Produktion hochwertiger Bilder für Halbleiteranwendungen.
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