Gebraucht ULTRATECH Unity AP200 #9306126 zu verkaufen

ULTRATECH Unity AP200
Hersteller
ULTRATECH
Modell
Unity AP200
ID: 9306126
Weinlese: 2017
Stepper 2017 vintage.
ULTRATECH Unity AP200 ist eine Wafer-Stepper-Technologieplattform, die für den Lithographiebetrieb der Spitzenklasse entwickelt wurde. Das AP200 ist eine Hochgeschwindigkeits-Stufen- und Wiederholungs- 30-GHz-Verarbeitungsausrüstung, die überlegene Bildgebungsgenauigkeit, flexible Wafering-Funktionen und fortschrittliche Prozesskontrolltechnologie bietet. Sein modernes optisches System verwendet eine einstellbare telezentrische Linse, die Wafer-Verzerrungen minimiert und ein starkes Bildfeld gewährleistet. Das Gerät kann über 50-um-Pitches mit einer Prozessgeschwindigkeit von bis zu 3-sec/Wafer-Schritt verarbeiten. Der automatisierte Betrieb des AP200 ist vollständig skalierbar und bietet maximale Flexibilität im Umgang mit verschiedenen Wafergrößen, Geräten und Substratmaterialien. Die Maschine verfügt über einen großen Arbeitsbereich, der angepasst werden kann, um sowohl 5-Zoll als auch 8-Zoll-Wafer unterzubringen. Es ist voll ausgestattet mit verschiedenen Feldabflachung und Multimode-Ausführungsfunktionen, sowie automatisierte Bildoptimierung. Das Tool verfügt auch über umfassende Prozesssteuerungsfunktionen, einschließlich optischer Ausrichtung, fiduzieller Ausrichtung und bildgebender Leistungsüberwachung. Das AP200 ist in der Lage, Fehlersignale zu erfassen und Spezialmuster mit konfigurierbaren Belichtungsparametern zu erzeugen. Es bietet auch umfangreiche Protokollverfolgung und Tools zur Analyse des Prozessverlaufs. Das AP200 ist auf höchste Leistungsstandards ausgelegt. Es bietet außergewöhnliche Bildgebungsgenauigkeit, ausgezeichnete Prozesssicherheit und mehrere Redundanzfunktionen. Das automatisierte Alignment Asset erleichtert die Pflege konsistenter Verarbeitungsparameter und verhindert Fehlstellungen. Darüber hinaus verbessert sein enormes Sichtfeld seine bildgebenden Fähigkeiten erheblich und fördert klar definierte bildgebende Felder. Unity AP200 ist die perfekte Lösung für alle Lithographie-Anforderungen, von extrem auflösender Mikroschaltung bis hin zu großflächigen integrierten Systemen. Es bietet konkurrenzlose Geschwindigkeit und Präzision, und seine fortschrittliche Prozesskontrolltechnologie macht es einfacher, überlegene Qualitätsergebnisse zu erzielen. Das Modell ist für maximalen Durchsatz, Robustheit und Benutzerfreundlichkeit ausgelegt und kann praktisch jede Wafergröße verarbeiten. Ob höchste Präzision oder erhöhtes Produktionsvolumen - die AP200 ist die perfekte Wahl.
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