Gebraucht ULTRATECH Unity AP300 #9247822 zu verkaufen

ULTRATECH UnityTM AP300 ist ein vielseitiger, hochpräziser Wafer-Stepper zur präzisen Lithographie-Belichtung mikroelektronischer Geräte. Es ist für die Produktion von Submikrongeräten mit hohem Durchsatz konzipiert, mit einer Submikron-Registrierungsfähigkeit rund um die gesamte Düsengröße. Es verfügt über Verarbeitungstechnologien der nächsten Generation, einschließlich Arbeitsmanagement, Aperture Design, Multi-Layer Patterning und Overlay Alignment. Es verwendet eine UV-Beleuchtungsquelle mit 75 um numerischer Apertur. Es unterstützt sowohl Stief-und-mehrmalig als auch Vollfeldmustervorsprungsaussetzungen. Es hat einen patentierten, kippbaren Retikelhalter, der Belichtungsprogrammierung, Musterbelichtung und Ausrichtung vereinfacht. Darüber hinaus verfügt es über eine innovative, benutzerfreundliche Vakuumausrüstung, die Verschmutzungen minimiert und auf der Plattform aufgebaute Ausschussmittel zurückweist. Das System verfügt über eine präzise servogesteuerte Stufe für das Bewegen des Substrats und einen hochauflösenden Encoder für eine präzise Positionsrückkopplung. Es verfügt über eine unabhängige, doppelt berührungsfreie Sondeneinheit für hohe Overlay-Ausrichtungsgenauigkeit. Sein Halterungsdesign ermöglicht eine schnelle und einfache Waferbeladung, Manipulation, Ausrichtung und Belichtung von Werkzeugen hoher Dichte. Es ermöglicht auch einen einfachen Zugang zum Retikel und verfügt über eine selbstüberwachende Transportmaschine. Es verfügt auch über ein vernetztes Überwachungswerkzeug, um eine effiziente Produktions- und Prozessintegrität zu gewährleisten. Der Controller umfasst sowohl einen PC-kompatiblen PC als auch einen speziellen ULTRATECHTM Progmatic 2.0 Controller. Der PC-kompatible PC ist ein High-End-Multi-Prozessor-Asset mit einer ganzen Reihe von PC-Anwendungen. Dieses Modell beinhaltet eine benutzerfreundliche Schnittstelle, die das Design von Werkzeugen, die Einstellung von Retikeln und die Optimierung neuronaler netzgesteuerter Prozesse ermöglicht. Der Progmatic 2.0 Controller ist ein echter Open-Architecture, Multitasking-Robotic-Controller, der Schrittautomatisierung und Maschinenfunktionen verwaltet. Es bietet eine breite Palette anspruchsvoller Fähigkeiten, um die High-End-Leistung und Zuverlässigkeit zu erfüllen, die für die lithografische Produktion in hohen Stückzahlen erforderlich sind. ULTRATECH UnityTM AP300 wurde entwickelt, um die höchsten Anforderungen an die Lithographie zu erfüllen und eine Belichtungsgenauigkeit von 0,3um (3,0 σ) zu erreichen. Es liefert auch eine Hochgeschwindigkeitsbelastung von 20 nm und höher, was eine Hochdurchsatzproduktion von fortschrittlichen und ultrakleinen Geräten ermöglicht. Es erfüllt die härtesten Lithographie-Anforderungen für leistungsschwache, leistungsstarke integrierte Schaltungen. Insgesamt bietet es eine kostengünstige Lösung für hochpräzise, extrem zuverlässige Lithographie-Belichtung und Produktion fortschrittlicher Mikroelektronik.