Gebraucht ULTRATECH XLS 7500 #9166601 zu verkaufen

ULTRATECH XLS 7500 ist ein Wafer-Stepper der nächsten Generation von Panasonic, der für die hochpräzise Abbildung des gesamten Werkzeugs entwickelt wurde. Es ist eine fortschrittliche optische Bildgebungsplattform, die den Prozess der Stempelplatzierung auf und aus einem Wafer automatisiert. XLS 7500 ermöglicht es Herstellern, Wafer-Chargen mit bis zu der siebenfachen Geschwindigkeit früherer Stepper-Generationen herzustellen. Die optische Ausrüstung der ULTRATECH XLS 7500 bietet eine hervorragende Leistung in Bezug auf Auflösung, Fokusverschiebung und Fokustiefe. Es verfügt zudem über eine erweiterte Fokustiefe, die eine optimale Flexibilität bei der Abbildung von Wafern bis 300 mm Durchmesser ermöglicht. XLS 7500 wurde mit einem intelligenten Bildgebungssystem entwickelt, um Belichtungsparameter bei Bedarf automatisch anzupassen. Dies gewährleistet eine hochauflösende Bildgebung bei minimalen Belichtungszeiten. ULTRATECH XLS 7500 ist mit einem selbstjustierenden Motorantrieb ausgelegt. Dies ermöglicht eine präzise und schnelle Positionierung des Wafers über das gesamte Auflösungsspektrum. Der Motorantrieb erübrigt die manuelle Einstellung und sorgt für Konsistenz in der Bildqualität über den Wafer. XLS 7500 bietet auch eine erweiterte Ansichtskette und Erfassungsbereich. Dadurch können mehr Ketten in einer einzigen Belichtung geladen werden, was einen höheren Durchsatz ermöglicht. Der Stepper verfügt auch über eine integrierte Defektsteuerungsmaschine, die defekte Wafer automatisch identifiziert und beseitigt. Dadurch wird sichergestellt, dass nur unberührte Wafer in die nächste Bearbeitungsstufe geschickt werden. ULTRATECH XLS 7500 bietet zudem eine umfassende View Alignment Suite. Es maximiert automatisch die Anzahl der nutzbaren Felder und untersucht die Ausrichtung jedes Feldes vor der Bildaufnahme. Dadurch wird sichergestellt, dass Muster bei minimaler Fehlausrichtung präzise über den gesamten Wafer gelegt werden. XLS 7500 ermöglicht auch die Integration mit Inline-Messtechnik-Systemen. Auf diese Weise können die Hersteller nach jeder Schrittbelichtung die Ergebnisse ihrer einzelnen Stanz- und Abbildungsschritte quantitativ messen. Dadurch ergibt sich eine hohe Genauigkeit im Herstellungsprozess. Insgesamt ist ULTRATECH XLS 7500 ein leistungsfähiger und effizienter Wafer-Stepper, der entwickelt wurde, um Wafer-Chargen mit bis zu der siebenfachen Geschwindigkeit früherer Stepper-Generationen herzustellen. Es kombiniert ein leistungsstarkes optisches Bildgebungswerkzeug mit integrierten Fehlersteuerungs- und Ausrichtungssystemen und einem integrierten Motorantrieb. Darüber hinaus bietet es einen umfassenden Sichtketten- und Erfassungsbereich sowie die Integration mit Inline-Messtechnik-Systemen, die einen hochgenauen Produktionsprozess ermöglichen.