Gebraucht ULTRATECH XLS 7500 #9241365 zu verkaufen

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ULTRATECH XLS 7500
Verkauft
Hersteller
ULTRATECH
Modell
XLS 7500
ID: 9241365
Stepper.
ULTRATECH XLS 7500 ist ein Mehrzweck-Wafer-Stepper, der für die Bildgebung auf einer Vielzahl von Substraten entwickelt wurde. Der Stepper nutzt eine Reihe von optischen Komponenten wie LED und Quecksilberlampen, Spiegel, Prismen und Öffnungen für eine detaillierte Bildgebung. Seine hochauflösende Fähigkeit ermöglicht das Schreiten von mikrolithographischen Mustern mit garantierten minimalen Merkmalsgrößen von 1,2 Mikrometern. Der Stepper verfügt über ein optionales Hochgeschwindigkeits-Imaging-Paket, das eine Belichtungszeit von nur 10 ms für einen schnelleren Durchsatz ermöglicht. Es verfügt auch über ein erweitertes spektrales Bildgebungspaket, das die am besten geeignete Wellenlänge aus einem Bereich von 254-365 nm auswählen kann, um den Kontrast zwischen der Maske und dem Substrat zu maximieren. Darüber hinaus verfügt der Stepper über ein fortschrittliches Ausrichtungspaket, das fein abgestimmte Ausrichtungen und Messungen des Wafers mit Sensoren mit Submikron-Genauigkeit ermöglicht. Der Stepper verfügt über verschiedene Merkmale, die seine langfristige Zuverlässigkeit gewährleisten. Es verfügt über ein Luftreinigungssystem, das alle partikulären Verunreinigungen mit einem Kohlenstofffilter und einem hocheffizienten Partikelluftfilter (HEPA) für Reinraumumgebungen herausfiltert. Es verfügt über einen präzisen Rahmenkühler, der die Stabilität und Genauigkeit der Prozesstemperaturen gewährleistet. Zusätzlich weist der Stepper einen Dreipunkt-Waferhalter auf, der die Stabilität und Ausrichtung des Wafers während der Verarbeitung gewährleistet. XLS 7500 ist auch sehr zugänglich und benutzerfreundlich. Die benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) ermöglicht eine einfache Bedienung und Konfiguration, während die erweiterte Datenmodellierung und Software-Suite eine Überwachung auf Systemebene ermöglicht. Darüber hinaus ist die Maschine kompatibel mit den neuesten Datenformaten und Schnittstellen der Branche, wie VME, Gigabit Ethernet und SCSI-basierte Systeme. Die Maschine ist auch für eine Vielzahl von Anwendungen leicht anpassbar. Es ist mit einer breiten Palette von Linsen wie brechend und katadioptrisch, und mit motorisierten Stufen zur Aufnahme unterschiedlicher Arbeitsabstände. Darüber hinaus kann es mit einer Vielzahl von zusätzlicher Hardware und Zubehör, wie einem Substratfutter, beheiztem Substrattisch und Waferkanteninstallationssystem angepasst werden. Insgesamt ist ULTRATECH XLS 7500 ein extrem vielseitiger Wafer-Stepper mit erweiterten bildgebenden Funktionen und Funktionen, die für eine einfache Bedienung und Konfiguration sorgen. Es bietet eine hohe Genauigkeit und hochauflösende Bildgebung sowie eine Reihe von Funktionen für zuverlässige und effiziente Bildgebung. Die breite Palette an Anpassungsmöglichkeiten stellt sicher, dass es für praktisch jede Anwendung geeignet ist.
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