Gebraucht ULTRATECH XLS #9191710 zu verkaufen
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ULTRATECH XLS ist ein Stepper zur Bearbeitung von Wafern, besonders geeignet für die Herstellung präziser Geräte und Solarzellenanordnungen. Es hat eine gesteuerte Achse, deren Positionsgenauigkeit bis zu 0,3 μ m bei einer Basis-Abtastsensorgenauigkeit von 0,25 μ m beträgt. Es ist aufgrund seiner hohen Geschwindigkeit und Wirtschaftlichkeit eine kostengünstige Wahl für die Herstellung von hochpräzisen Wafern. XLS verfügt über einen speziellen Wafer-Ausrichtungsmechanismus, der sich die letzte geladene Wafer-Position merken und zurückrufen kann, was Zeit beim Setup spart und die Notwendigkeit einer Neuausrichtung bei Verwendung derselben Wafer-Sets reduziert. Die CCD-Kantenerkennung mit einer Auflösung von 0,02 Mikrometern sorgt dafür, dass jeder Wafer korrekt positioniert ist. Das Granit-Plattformdesign bietet gute Stabilität und schwingungsdämpfende Eigenschaften und minimiert thermische Drift. Für den Produkttransport verfügt der Stepper über ein Clustermodul, das bis zu sechs Trays gleichzeitig transportieren kann. Für erhöhte Sicherheit und höhere Präzision werden die Wafer mit einem Vakuumsystem sicher an Ort und Stelle gehalten, wenn sie zu verschiedenen Abschnitten der Maschine übergehen. ULTRATECH XLS ist eine zuverlässige, effiziente und kostengünstige Wahl für die Verarbeitung von Wafern und eignet sich für eine breite Palette von Wafern in verschiedenen Größen und Formen. Es bietet mehrere Belichtungstechniken, einschließlich Luftbild-Probenahme. Je nach Größe der Wafer kann die Größe des Scanfeldes gewählt werden. Darüber hinaus ist XLS mit einer automatischen Rückseitenreinigungseinheit ausgestattet, die eine rückstandsfreie Kante des Wafers gewährleistet. ULTRATECH XLS ist für anspruchsvolle Produktionsumgebungen konzipiert und bietet hochpräzise Fertigungsprozesse. Die einfach zu bedienende Prozesssteuerung sorgt für schnelle Plattformänderungen für weitere Effizienz. Der Stepper bietet auch eine integrierte Scanner-Detektionsmaschine und eine breite Palette von Waferkassetten. XLS hat mehrere Sätze von Prozessparametern wie Belichtungsdosis, Maskendicke und Belichtungszeit, die verwendet werden können, um das Gerät entsprechend der Anforderung anzupassen. Der modulare Aufbau und die überlegene Optik sorgen für präzise und schnelle Ergebnisse. Es ist auch eine sichere Wahl, da es mit einem Feuchtigkeitsschutzwerkzeug und einer intelligenten Leistungsüberwachung ausgestattet ist. Zusammenfassend ist ULTRATECH XLS eine ausgezeichnete Wahl für eine Vielzahl von Waferbearbeitungs- und Fertigungsanwendungen. Es bietet schnelle, präzise und kostengünstige Ergebnisse und seine automatisierten Funktionen sorgen für eine hohe Qualität und Sicherheit im Produktionsprozess.
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