Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 5810 #9170075 zu verkaufen

ADE/KLA/TENCOR 5810 Wafer Testing and Metrology Equipment ist ein vielseitiges und effizientes Werkzeug, das eine Reihe von Anwendungsanforderungen in der Halbleiterindustrie erfüllt. Es verfügt über eine hohe Durchsatzrate mit einer breiten Palette von Wafer-Testfunktionen, die schnelle und genaue Wafer-Testprozesse ermöglichen. Das System verfügt über eine innovative und fortschrittliche, voll-Kassette Advanced Scatterometry Metrology-Technologie, die entwickelt wurde, um die Winkelverteilung von Streulicht von der Oberfläche eines Wafers zu messen. Dieses Merkmal bietet eine Analyse eines breiten Spektrums von Filmdicken sowie eine genaue, gleichzeitige Messung sowohl von Photomasken- als auch von Wellenleitermustern auf einem einzigen Wafer. Darüber hinaus reduziert diese Funktion Komplexität und Kosten, da mehrere Messungen gleichzeitig durchgeführt werden können. Das Gerät basiert auf einer hochautomatisierten Plattform mit einem eingebauten, hochauflösenden TEM-Bildgebungsmikroskop. Dies ermöglicht eine Vielzahl von Bildanalyseoperationen, von EBSD (electron backscatter diffraction) über Kapazitätsmessungen und Ätzverarbeitung. Beispielsweise kann mit dem TEM-Abbildungsmikroskop Tröpfchengröße, Liniendichte und Musterorientierung gemessen werden, was für die Fehlerinspektion von Halbleiterchips äußerst nützlich ist. Darüber hinaus ist die Maschine auch in der Lage, fortschrittliche Wafer-Prüfverfahren wie Fehlerisolierung und 3D-Oberflächencharakterisierung durchzuführen. Diese Fähigkeit ist für das Verständnis der Gesamtleistung des Wafers sowie die Isolierung prozessbedingter Defekte unerlässlich. Schließlich ist das Wafer-Test- und Metrologie-Tool ADE 5810 so konzipiert, dass es benutzerfreundlich ist und höhere Durchsatzraten ermöglicht und gleichzeitig eine hohe Genauigkeit und Präzision bietet. Mit einer breiten Palette von Funktionen und Fähigkeiten ist das Asset eine ideale Wahl für diejenigen, die Wafer für eine Vielzahl von Zwecken schnell und genau testen möchten.