Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 6033T #196422 zu verkaufen
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ID: 196422
Wafergröße: Up to 6"
Wafer thickness measurement system, up to 6"
Specifications:
Non-contact
All electronic gaging
Measures thickness and total thickness variation (TTV).
ADE/KLA/TENCOR 6033T ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik für die spektrale Domäne Infrarot-Photolumineszenz (PL) und Laser-Streufeld (SF) Messtechnik von fortgeschrittenen Halbleiterbauelementen bei 1063 nm. Das System ist mit einem 60x vergrößerten optischen Mikroskop, zwei Laserquellen mit einstellbaren Mittenwellenlängen und einer optischen Einheit ausgestattet, die den Spektralbereich von 200-1700 nm abdeckt. Das optische Mikroskop dient zur Inspektion des Wafers sowie zur Ausrichtung und Fokussierung der Laser. Die optische Maschine ermöglicht sowohl statische als auch dynamische PL-Messmodi, so dass Benutzer detaillierte Messungen der Leistung des Wafers vornehmen können. ADE 6033T bietet zudem eine Echtzeit-Partikelanzahl, die einen Einblick in eventuelle Verschmutzungen auf dem Wafer bietet. Die KLA 6033T ist in eine Software-Suite integriert, die eine grafische Benutzeroberfläche für intuitive Tests und Datenanalysen sowie die Software-Algorithmen für automatisierte Analyse, Geräteanpassung und Fehlerkorrektur bietet. Die Software unterstützt auch die Fernüberwachung und Verwaltung mehrerer 6033T Systeme von einem einzigen Access Point aus. TENCOR 6033T bietet eine breite Palette von Funktionen, die die Wafermesstechnik einfacher und genauer machen. Das Tool verwendet hochempfindliche Erkennungsalgorithmen, um auch kleine Unterschiede zwischen Geräten auf dem Wafer zu erkennen. Es kann auch Fehler identifizieren, anormale Geräte erkennen und Transistoren und andere interne Knoten mit Sub-Mikrometer-Genauigkeit messen. Die Anlage umfasst einen luftgekühlten 765-nm-Laser mit einem ultrastabilen 532-nm-Laser, der eine durchschnittliche Leistung von bis zu 60mW über den Spektralbereich für die PL-Messung liefern kann. Die fortschrittlichen Laser bieten auch eine höhere Genauigkeit für die Erfassung feiner Details und für Wafer-Level-Tests über einen breiten Wellenlängenbereich. Insgesamt ist ADE/KLA/TENCOR 6033T ein unglaublich zuverlässiges und genaues Wafertest- und Metrologiemodell, das den anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Es bietet die ultimative Präzision, Geschwindigkeit und Flexibilität, so dass Benutzer die Leistung ihrer Geräte schnell und genau messen können.
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