Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 6035 #134761 zu verkaufen

ADE / KLA / TENCOR 6035
ID: 134761
Wafer gauge.
ADE/KLA/TENCOR 6035 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um die Eigenschaften von Bauelementen auf Produktionsebene im Zusammenhang mit Halbleiterprozessen der Stromerzeugung zu analysieren. Dieses System ist ideal für die Auswertung von nicht verpackten oder verpackten Komponenten und Baugruppen. ADE 6035 besteht aus einer Reihe von Komponenten, die es dem Gerät ermöglichen, kritische Messungen zur Fehlercharakterisierung, Testausbeute und fortschrittlicher Prozesskontrolle durchzuführen. Der Kern der Maschine KLA 6035 ist die mechanische Struktur, die einen Wafer-Booster und einen großflächigen, schnellen Substrattisch umfasst. Der Waferverstärker dient zum Be- und Entladen der Probenscheibe zum und vom Tisch. Diese Funktion ermöglicht eine schnelle Wafer-Wende, die eine präzise Probenhandhabung und gleichbleibende qualitativ hochwertige Wafer-Testergebnisse gewährleistet. Der Hochgeschwindigkeits-Substrattisch ist so konzipiert, dass er einen hohen Waferdurchsatz bietet, indem er parallele Tests und Messtechnik mehrerer Wafer auf einmal ermöglicht. TENCOR 6035 ist mit einem fortschrittlichen automatisierten optischen Inspektionswerkzeug (AOI) ausgestattet. Dieses Gut ist in der Lage, Fehler wie elektrische Shorts und Öffnungen zu erkennen und zu charakterisieren. Es ermöglicht dem Benutzer auch, hochauflösende topographische und 2D-Querschnittsbilder zu erfassen. Die automatisierte Mikroskopie von 6035 verwendet eine Inspektionsmethode, die als Lichtfeld-Bildgebung bezeichnet wird. Helle Bildgebung ermöglicht die Visualisierung feiner Funktionen auf Produktionsebene in Echtzeit. Darüber hinaus liefert die Mikroskopie von ADE/KLA/TENCOR 6035 auch hochauflösende Bilder von Waferdefekten, wie Linienbreiten, Stiftlöcher, Kantenlithographie, Hohlräume und Line-Edge-Roughness. Neben AOI ist ADE 6035 auch mit einem Wafer-Prober ausgestattet. Dieses Modell ermöglicht die elektrische Prüfung bestimmter Bereiche auf dem Wafer, um etwaige Leistungsunterschiede zu erkennen. Der Wafer-Prober enthält auch Software, die die Steuerung der Funktionen und Operationen des Probers ermöglicht. KLA 6035 ist auch in der Lage, hochpräzise Messtechnik der Struktur des Wafers durchzuführen. Die messtechnischen Fähigkeiten dieses Geräts liefern quantitative Informationen über die Materialeigenschaften und das mechanische Verhalten von Wafern. Es ist in der Lage, 3D-Oberflächenmessungen wie Schritthöhe, Topographie und Oberflächenrauhigkeit bereitzustellen. Es ist auch in der Lage, Waferform und Gleichmäßigkeitsparameter einschließlich Konturen, Abweichungen und Oberflächenprofil zu messen. In Summe ist TENCOR 6035 ein automatisiertes Wafer-Test- und Messtechnik-System, das fortschrittliche Funktionen für Fehlercharakterisierung, Testertragsmessung und Prozesskontrolle bietet. Diese Einheit besteht aus mehreren Komponenten, wie der mechanischen Struktur, AOI-Maschine, Wafer-Prober und Metrologie-Fähigkeiten. 6035 Werkzeug liefert auch quantitative Informationen über die Struktur und Eigenschaften von Wafern.
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