Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 6035 #293654293 zu verkaufen

ADE/KLA/TENCOR 6035 ist eine weltweit führende Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die von ADE Corp entwickelt wurde. Dieses System nutzt eine fortschrittliche berührungslose Weißlicht-Interferometrie (WLI), um die Inspektion, Messung und Charakterisierung von Halbleiterscheiben zu ermöglichen. Die WLI-Technologie arbeitet, indem sie ein Interferenzmuster aus dem Wafer sammelt und die Oberflächentopographie aus diesem Muster berechnet. Dies geschieht durch einen Objektstrahl aus Licht, der einen bildbasierten Wegsensor mit geringer Verzerrung für hohe räumliche Genauigkeit verwendet. Der Objektstrahl wird dann auf einen Referenzstrahl überlagert, der die Probe gemäß den servo-gesteuerten XY-Stufen des z-Piezometers abtastet, wodurch schnelle und zuverlässige seitliche Abtastungen über die Probe erfolgen. ADE 6035 ist in der Lage, bis zu sechzehn verschiedene Parameter gleichzeitig zu erfassen und ermöglicht eine Vielzahl von Defekten und messtechnischen Messungen wie Partikel- und Oberflächentopographie, Ebenheit, Schritthöhen, gebogene und gebogene Wiederholungen. Diese Messungen können sowohl im Dunkelfeld als auch im Hellfeld mit einem spezialisierten optischen Filter durchgeführt werden. Die Einheit enthält auch ein konturbasiertes Oberflächenanalyseprogramm, mit dem Benutzer Ergebnisse mehrerer Flächen gleichzeitig vergleichen können. Diese Funktion ermöglicht es Benutzern, Muster und Trends in den Oberflächendaten zu visualisieren und so Korrelationen zwischen Proben zu identifizieren. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine Ummessfunktion, die im Laufe der Zeit eine sorgfältige und zuverlässige Messung spezifischer Merkmale ermöglicht. Schließlich ist KLA 6035 in der Lage, Kunden mit ihren eigenen kundenspezifischen Layouts für die Musterverwaltung, mit Funktionen wie Job-Klonen und schnelles Laden von spezifischen Tests. Dies ist besonders nützlich für diejenigen, die regelmäßig mehrere Wafer gleichzeitig inspizieren. Zusammengefasst bietet das 6035 Wafer-Test- und Messtechnik-Tool eine fortschrittliche, berührungslose WLI-Lösung, die eine Reihe von Vorteilen bietet, wie Multi-Parameter-Messungen, Konturoberflächenanalyse und anpassbares Probenmanagement. Dieser Vorteil ist ideal für diejenigen in der Halbleiterindustrie, die mehrere Wafer gleichzeitig prüfen und messen müssen.