Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 7000 #98411 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 98411
Wafergröße: 4" - 6"
Wafercheck inspection / resistance bow warp check system, 4" to 6"
(4) Senders
(12) Receivers
Heads: low and high resolution
Thickness station
High res station
Pre-aligner
Manual
Does not include computer (compatible with HP computer)
Some spare elevators are available.
ADE/KLA/TENCOR 7000 ist eine hochpräzise Wafer-Prüf- und Messtechnik, die entwickelt wurde, um die Leistung von Fertigungsprozessen wie Ätzen, Abscheiden, Widerstand und Ausrichtung zu messen und zu überwachen. Das System ist in der Lage, Wafer bis 200 mm Durchmesser mit verschiedenen fortschrittlichen Werkzeugen und Techniken zu überprüfen und zu messen. ADE 7000 besteht aus vier Hauptkomponenten: einem Hochgeschwindigkeits-Scankopf, dreidimensionalen Spannfuttern, Vision Unit und Prozesssteuerungssoftware. Der Scankopf ist mit einer AlignMark™-Vision-Maschine ausgestattet, die bis zu tausenden Stellen pro Sekunde auf einem Wafer messen kann. Die dreidimensionalen Spannfutter ermöglichen volle dreidimensionale Messfähigkeiten und ermöglichen es dem Bediener, die Position bestimmter Komponenten des Wafers für genauere Messungen einzustellen. Das Vision-Tool besteht aus einem leistungsstarken optischen Mikroskop, das kritische Geräteparameter wie x-y Maß und Linienbreite messen kann. Die KLA 7000 verfügt auch über eine RS232-Schnittstelle und kann mit den meisten anderen Standardcomputern verbunden werden. Dies ermöglicht die Schnittstelle mit anderen Geräten wie einem Impedanzanalysator, um den Widerstand von Wafern zu messen. Darüber hinaus sind eine Reihe fortschrittlicher Datenanalyse- und Reporting-Funktionen in das Modell integriert, die dem Bediener detaillierte grafische Ergebnisse liefern. Das Gerät bietet auch eine vollständige Liste von Prozessparametern, die während des Herstellungsprozesses leicht angepasst und überwacht werden können. Dadurch kann der Bediener die Genauigkeit seiner Messungen maximieren und gleichbleibend hochwertige Ergebnisse gewährleisten. Darüber hinaus ist das System sehr anpassbar und kann in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden. Insgesamt ist 7000 eine fortschrittliche Wafertest- und Messtechnik-Einheit, die genaue und zuverlässige Messergebnisse liefert. Es bietet ein leistungsstarkes optisches Mikroskop, dreidimensionale Spannfutter, Hochgeschwindigkeits-Scankopf und Prozesskontrollsoftware, um genaue Ergebnisse in einer Vielzahl von Fertigungsprozessen zu gewährleisten. Darüber hinaus ist die Maschine sehr anpassbar und bietet eine Vielzahl von erweiterten Datenanalyse- und Berichtsfunktionen.
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