Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 780 MRT #9132937 zu verkaufen

ADE/KLA/TENCOR 780 MRT ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik für die Halbleiterherstellung. Es soll dabei helfen, Waferprozesse zu charakterisieren und Prozessfehler zu identifizieren, Einblicke in die Leistung des Prozesses zu geben und letztlich zur Senkung der Fertigungskosten beizutragen. Die ADE 780 MRT verfügt über zwei Messköpfe, von denen jeder Sensoren zur Messung elektrischer Eigenschaften der Waferoberfläche und ein Bilderfassungssystem zur detaillierten Abbildung der Waferoberfläche enthält. Diese Messköpfe führen Wafer-Spektralreflexionen, Fehlerabbildungen, elektrische Leckagemessungen sowie Wafer-Ebenheits- und Kettmessungen durch. Die beiden Messköpfe können gleichzeitig verwendet werden, um sowohl Inline- als auch Offline-Messungen durchzuführen. Der Wafer kann in-line bearbeitet werden, während der andere Kopf für eine Echtzeitmessung bereit ist; diese Fähigkeit ermöglicht die frühzeitige Erkennung von Defekten im Produktionszyklus und eine schnelle Rückmeldung zur Prozessverbesserung oder Fehlervermeidung. Inline-Messungen können verwendet werden, um verschiedene Aspekte des Prozesses zu verfolgen, wie Wafer Sauberkeit, dielektrische Schichtdicke und Ebenheit. Offline-Messungen können dann verwendet werden, um Fehler zu erkennen und zu charakterisieren, Ungleichmäßigkeiten zu verarbeiten und kritische Spezifikationen wie Oberflächenrauhigkeit, Oxid/Silizium-Verhältnis und Verschmutzungswerte zu überwachen. Darüber hinaus bietet KLA 780 MRT umfangreiche Analysefunktionen, die detaillierte Informationen über die zu testenden Materialien liefern und es dem Anwender ermöglichen, Trends auf dem Wafer und zwischen verschiedenen Waferpartien schnell zu verstehen. Das Gerät kann Multi-Parameter-Streudiagramme von Daten aus den Messungen sammeln, helfen, Probleme zu identifizieren und Korrekturmaßnahmen zu leiten. Darüber hinaus bietet die Maschine eine Reihe von messtechnischen Softwarelösungen zur Analyse der Daten aus den Messungen. Diese Lösungen können detaillierte Berichte liefern, statistische Analysen durchführen und Daten von verschiedenen Standorten auf dem Wafer sowie von verschiedenen Waferpartien vergleichen. 780 MRT ist sehr vielseitig und kann mit einer Vielzahl von Hardwareoptionen angepasst werden, wie einem staubdichten Schrank, einem automatisierten Wafer-Staging-Tool, einem integrierten Monitoring-Asset sowie einer Temperatur- und Feuchtigkeitsregelung. Insgesamt bietet TENCOR 780 MRT eine umfassende und vielseitige Plattform für Wafertests und Messtechnik, mit der Kunden das Beste aus ihren Waferprozessen herausholen können. Es hilft, Prozessprobleme schnell und genau zu identifizieren und zu charakterisieren und liefert die notwendigen Informationen für Korrekturmaßnahmen.