Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 9350 #9128720 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9128720
System
ASC controller
RES station
Pre aligner
(2) cassette stations
Rest station
ARM robot
E station.
ADE/KLA/TENCOR 9350 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für viele verschiedene Prozesse geeignet ist, einschließlich Fotolithographie, chemisch-mechanisches Polieren (CMP) und Abscheidung. Das System besteht aus zwei Komponenten, einem integrierten Subsystem für Messtechnik und Waferinspektion und einem Steuerungssubsystem. Die integrierten Subsysteme ermöglichen effiziente Prüf- und Messtechnik-Prozesse und machen das Gerät zu einer idealen Wahl für viele industrielle Zwecke. Das integrierte Subsystem Messtechnik und Waferinspektion besteht aus einer Reihe hochauflösender Abbildungsoptiken, zusätzlichen Beleuchtungswerkzeugen und einer automatisierten Messtechnik. Die bildgebende Optik ermöglicht eine umfassende Analyse, u.a. mikroskopische Bildgebung, Merkmalsmessungen, Fehlercharakterisierung und Konturmapping. Die Beleuchtungswerkzeuge ermöglichen eine gleichmäßige Beleuchtung des Wafers, wodurch Bildfehler durch extreme Lichtintensität reduziert werden können. Das automatisierte Messtechnik-Tool erfasst und speichert Bilder des Wafers sofort aus mehreren Winkeln und ermöglicht eine detaillierte Analyse und Charakterisierung. Das Steuerungssubsystem der ADE 9350 besteht aus einem Hochleistungsregler und einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche (GUI). Der Controller dient zur Steuerung der Prozessparameter, während die GUI es dem Anwender ermöglicht, automatisierte Test- und Messtechnik-Prozesse einzurichten und die erfassten Daten in Echtzeit einzusehen. Die benutzerfreundliche GUI ermöglicht es dem Benutzer auch, Bilder verschiedener Wafer zu speichern, auf die zu Vergleichszwecken zugegriffen werden kann. Darüber hinaus ist die Steuerung auch in der Lage, eine Datenverarbeitung wie Fehlererkennung, Mustererkennung und Prozesssteuerung durchzuführen. Insgesamt ist die KLA 9350 eine effiziente und zuverlässige Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für viele industrielle Anwendungen geeignet ist. Das integrierte Subsystem Messtechnik und Waferinspektion bietet eine umfassende Analyse und Charakterisierung der Wafer, während das Steuerungssubsystem einfach zu bedienen ist und automatisierte Prüf- und Messtechnik-Prozesse ermöglicht. Die Kombination dieser beiden Teilsysteme ermöglicht eine genaue und zuverlässige Prüfung und Messtechnik von Wafern und macht das Modell zu einer idealen Wahl für viele Prozesse.
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