Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 9500 #9152997 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9152997
Ultra gauge multi-measurement system
Includes:
Single cassette
ASC 1000 Controller
E-Station
Measures 8,700 data points in 60 seconds
2-D Contour map measurements
Thickness:
Center point
Five points or full wafer scan
Shape:
Bow and warp using 3-point
Global flatness:
SEMI GBI, TIR, FPD, FPD%
5-Points TTV
Site flatness:
SEMI M1 standards
Site size: 8-30 mm
Variable offsets
Thickness-accuracy: ±0/05 µm
Repeatability: 0.15 µm
Absolute range: Normal ± 125 µm
Global flatness: Accuracy ± 0.15 µm
Repeatability: 0.05 µm
Site flatness accuracy: ± 0.15µm
Wafer thickness: 400 µm - 1000 µm.
ADE/KLA/TENCOR 9500 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die speziell für Halbleiterherstellungsanwendungen entwickelt wurde. Es zeichnet die elektrischen Eigenschaften von Halbleiterbauelementen und -komponenten auf, um die Verarbeitung und Auswertung zu erleichtern. Das System ist mit automatisierter Fehlerinspektionsfähigkeit ausgestattet und kann Partikel erkennen, die die Leistung des Geräts beeinträchtigen können. ADE 9500 verwendet eine Vielzahl von Testinstrumenten, darunter zwei dielektrische Mikroskope, drei optische Mikroskope, zwei SEMs und mehrere spektroskopische Ellipsometer mit variablem Winkel. Diese Instrumente sowie die überlegenen bildgebenden Funktionen des Geräts ermöglichen eine schnelle und genaue Prüfung und Messung von Defekten, Funktionsgrößen, Gleichmäßigkeit, Qualitätsparametern und mehr. Sie kann auch zur Messung von Dicken, Folieneigenschaften und Ausbeute verwendet werden. Die Testmaschine verwendet auch die APR-Technologie (adaptive Pattern Recognition), um Merkmale zu erkennen und zu analysieren, mit denen Krankheitsindikationen identifiziert werden können. Diese Mustererkennungstechnologie dient auch zur Erkennung und Charakterisierung von Leiterbahnen, Staub- und Schmutzverunreinigungen, Materialungleichförmigkeiten und Verunreinigungen in dünnen Schichten, Widerstandsschichten und anderen Schichten. KLA 9500 enthält auch eine Vielzahl von automatisierten Wafer-Stockern und Platzierungswerkzeugen, um den Durchsatz und die Genauigkeit zu erhöhen. Diese Werkzeuge vereinfachen das Laden, Entladen, Platzieren und Ausrichten von Wafern jeder Größe und Art. Dies erleichtert die Einrichtung von Prozessen zur Analyse von Wafern und zur Durchführung von Tests. Das Werkzeug kann auch zur Durchführung von Diagnosetests, typischerweise zur Messung von Widerstandswerten, programmiert werden. Diese Tests sind besonders nützlich bei der Entwicklung von Chips, bei denen die fehlerhaften Tests helfen können, die Ursache für den Ausfall eines Geräts zu ermitteln. TENCOR 9500 Asset ist in der Lage, detaillierte, umfassende und genaue Informationen über eine Vielzahl von Komponenten und Geräten bereitzustellen. Diese Daten können zur Steigerung der Produktionsqualität und -effizienz sowie zur Kostensenkung verwendet werden. Es ist auch vielseitig genug, um eine Vielzahl von Halbleiterherstellungsanwendungen zu passen. 9500 Modell ist entworfen, um zuverlässige, konsistente und genaue Wafer Inspektion und Messtechnik zu bieten.
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