Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 9500 #9265520 zu verkaufen

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ADE / KLA / TENCOR 9500
Verkauft
ID: 9265520
Wafergröße: 6"-8"
Wafer thickness measuring system, 6"-8" Autoloader.
ADE/KLA/TENCOR 9500 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für die Charakterisierung von Halbleiterprozessen entwickelt wurde. Es kombiniert eine Vielzahl fortschrittlicher Technologien und Methoden, um die Qualität der Oberfläche eines Wafers zu messen, von den einfachsten bis zu den komplexesten Strukturen. Es ermöglicht die vollständige Charakterisierung von Wafern oder Substraten, von der Vorverarbeitung bis zur Nachbearbeitung, und ermöglicht eine genaue Prozesssteuerung und Geräteherstellung sowie ein Ertragsmanagement. Das System verwendet eine Vielzahl von Sensoren, die mechanische, elektrische und chemische Eigenschaften messen, um die Oberfläche eines Wafers zu bewerten. Die mechanischen Sensoren der Einheit messen Faktoren wie Oberflächentopographie, Haftfestigkeit und Oberflächenrauhigkeit. Elektrische Sensoren messen Widerstand, Kapazität und Strom. Chemische Sensoren messen Elemente wie Metalloxidschichten, Dotierstoffkonzentrationen und Widerstand. Die Sensoren haben eine Auflösung von einem Nanometer, und die Maschine umfasst zwei verschiedene Arten von Abtaststufen, die Messungen über einen ganzen Wafer oder bestimmte Orte ermöglichen. ADE 9500 ist mit fortschrittlicher Automatisierungssoftware ausgestattet, die ein automatisiertes Scannen und die Datenerfassung von den Sensoren ermöglicht. Automatisierte Befehle werden vom Steuerrechner zum Werkzeug sowie Daten von den Sensoren zurückgesendet. Die gesammelten Daten werden zur Fehleranalyse und Prozessoptimierung visualisiert und analysiert. Die Software umfasst eine umfangreiche Bibliothek mit Datenverarbeitungsalgorithmen, die es Anwendern ermöglicht, Daten leicht zu manipulieren und zu interpretieren. Die Anlage ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die Benutzer schützen und Schäden an der Ausrüstung verhindern. Ein ESD-Luftgebläse schützt das Modell vor elektrostatischer Entladung und ein Notschalter schützt Schaltungen und Komponenten vor Überspannungsbedingungen. Die Ausrüstung wurde strengen Sicherheitstests unterzogen, die Standards der International Society of Automation und anderer Sicherheitsstandards überlieferten. KLA 9500 ist ein wesentliches Werkzeug für die Halbleiterindustrie und ermöglicht eine genaue und effiziente Prozesscharakterisierung. Es bietet eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen und Roboter, die hochpräzise automatisierte Messungen und Datenerfassung ermöglichen, so dass Benutzer ihre Prozesse genau steuern und verwalten können. Die umfangreichen Sicherheitsmerkmale des Systems schützen Benutzer und Ausrüstung und sind somit eine ideale Lösung für jede Anwendung, die höchste Qualität in der Waferprüfung und Messtechnik erfordert.
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