Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 9500 #9281188 zu verkaufen

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ADE / KLA / TENCOR 9500
Verkauft
ID: 9281188
Wafergröße: 4"-8"
Measurement system, 4"-8" ASC 2000 Controller.
ADE/KLA/TENCOR 9500 ist ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das entwickelt wurde, um die Anforderungen von Dünnschichtgeräteingenieuren für fortschrittliche Halbleiteranwendungen zu erfüllen. Es bietet einen umfassenden Satz von messtechnischen Funktionen, so dass Benutzer eine breite Palette von Prozessschichten genau messen können. Seine einzigartige Kombination aus optischer Mikroskopie, Laserinterferometrie, Streuung und anderen Techniken machen es gut geeignet für die Vorcharakterisierung und Nachbearbeitung von Halbleiterprozessen. Das Gerät ist in der Lage, optische, elektrische und strukturelle Eigenschaften von Dünnschichtschichten auf einem Wafer genau zu messen. Es beinhaltet Möglichkeiten zur Abbildung, Bildgebung und Analyse der Oberflächentopographie (mit Sub-Angstrom-Auflösung) und der elektrischen Eigenschaften einer Probe. Darüber hinaus kann das System eine Vielzahl von Funktionen wie kritische Dimensionsmessung (CD), strukturierte Bildgebung und Inline-Fehlerüberprüfung ausführen. ADE 9500 bietet auch eine automatische schnelle Ausrichtung der Probe und mehrere automatisierte Funktionen wie Laserfokusoptimierung, Partikelsuche, Formsuche, Feldüberprüfung und Zoom-Bereich von Interesse. Es wurde entwickelt, um eine konsistente und zuverlässige Messleistung durch routinemäßige Kalibrierung zu gewährleisten. Das System umfasst eine Vielzahl von modularen Werkzeugen, die auf spezifische Prozessschritte und verschiedene Anwenderbedürfnisse zugeschnitten sind. Genaue Datenauswertungen werden schnell und präzise generiert. Benutzer haben Zugriff auf leistungsfähige, aber intuitive Software, mit der sie Bilder speichern, Ergebnisse analysieren und Berichte zum Teilen erstellen können. Schließlich verfügt KLA 9500 über intuitive, grafische Workflow-Tools (GUI), die Anwendern helfen, Aufgaben schneller und einfacher zu erledigen. Zusätzliche Funktionen wie Hochgeschwindigkeits-Datenübertragung und automatisierte Datenübertragung sorgen für eine nahtlose Arbeitsumgebung. Dies zusammen mit seiner branchenführenden Messtechnik machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für jede fortschrittliche Halbleiteranwendung.
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