Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 9520 UltraGage #9245050 zu verkaufen
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ID: 9245050
Dimensional measurement system
ASC200 Controller included
Thickness: ± 1.00µ
Shape (Bow / Warp):
±( 3.00 + 5% of reading) µm
±( 4.00 + 5% of reading) µm
Global flatness: ± 0.50 µm
Integral wafer centering and pre-aligner
Backside contacting chuck
Vacuum chuck diameters:
Small (23.3 mm): 3", 100 mm -150 mm wafers
Large (33.4 mm): 125 mm- 200 mm wafers
Wafer contact materials:
Resting pads: Santoprene
Vacuum chuck: Polyurethane
Nominal wafer thickness range: 250 µm - 750 µm
Auto-loader:
Single / Dual cassette
Sorting: Slot-to-slot / Cassette-to-cassette
Backside contact, horizontal cassette orientation
Wafer contact material: Teflon
Nominal wafer thickness range: 250 µm - 750 µm
Conductivity type: P / N
Edge exclusion:
Thickness: 3 mm / 5 mm
Shape: 3 mm
Nominal wafer thickness: 250 µm - 750 µm
Resistivity: > 0.1-200 Ω cm
Edge gradient: 0.1 µm/mm
Power supply:
Temperature range: 12.7°- 29.4° C (55° - 85° F)
Relative humidity: 55 to 95% non-condensing
Vacuum: 0.6 SCFM, 635 mm (25") Hg ± 10%
Peak usage: 2.8 kVA
Voltage: 100/120/200/208/220/230/240 VAC ± 10%
50/60 Hz, Single phase.
ADE/KLA/TENCOR 9520 UltraGage ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die von ADE entwickelt und hergestellt wurde. ADE 9520 UltraGage verwendet innovative Technologien in Kombination mit fortschrittlichen Hardware- und Softwarefunktionen, um ein Höchstmaß an Genauigkeit, Präzision und Leistung zu bieten. Das System soll seinen Anwendern helfen, eine Reihe kritischer Merkmale und Parameter auf Wafern und Substraten zu messen, die in der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie verwendet werden. KLA 9520 UltraGage basiert auf einer High-Speed-Plattform für optische Messtechnik mit erstklassiger Optik und Bildverarbeitung. Auf diese Weise können Benutzer eine Vielzahl von Wafer-Funktionen mit beispielloser Auflösung und Genauigkeit messen. Das Gerät ist speziell für die Inspektion von Halbleitersubstraten mit einem Durchmesser von bis zu 12 Zoll ausgelegt. Es verfügt über eine fortschrittliche XY-Bühne, die bis zu 12-Zoll-Wafer unterstützt, so dass es ein leistungsstarkes Werkzeug für die Messung von Minutenmerkmalen über verschiedene Substrate. Die Maschine ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, die es ihr ermöglichen, Messungen kritischer Parameter effektiv durchzuführen. Dazu gehört ein erweitertes Wafer-Mapping-Tool, mit dem Spurendefekte, Fehler und Kontaminationen auf einem Probenwafer erkannt werden können. Es verfügt auch über leistungsstarke Algorithmen, die eine genaue Analyse der Messwerte und eine statistische Detektion der Ungleichmäßigkeit über verschiedene Substrate ermöglichen. Darüber hinaus verfügt 9520 UltraGage über eine integrierte Software, mit der Benutzer die Parameter für Wafer-Qualitätskontroll- und Messtechnik-Anwendungen anpassen können, sodass sie zuverlässigere Ergebnisse erzielen können. Die Anlage ist auch mit einem eingebauten Kalibriermodell ausgestattet, um genaue und wiederholbare Messungen zu gewährleisten, während ein leistungsstarkes optisches Mikroskop hilft, alle Oberflächenfehler schnell zu identifizieren. TENCOR 9520 UltraGage ist ein ideales Werkzeug zur Qualitätskontrolle und Charakterisierung bei der Waferbearbeitung. Dank seiner leistungsstarken Eigenschaften und seiner außergewöhnlichen Genauigkeit und Präzision können die Geräte unschätzbare Einblicke in die Herstellung und Inspektion von Wafern bieten. Durch verbesserte Leistung und Zuverlässigkeit hilft ADE/KLA/TENCOR 9520 UltraGage Unternehmen, ihre Kosten zu senken und gleichzeitig Qualität zu gewährleisten.
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