Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 9600 / 9700 #9008898 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9008898
Wafer inspection system
(2) Input
(3) Outpuut
Hi-res station
ASC controller
Signal arm robot
E-plus stage
No probe arm.
ADE/KLA/TENCOR 9600/9700 Wafer Testing and Metrology Equipment ist ein modernes Messsystem, das Halbleiterhersteller bei der Analyse und Kartierung von Wafern unterstützt. Es verwendet eine Kombination aus optischen, chemischen, elektrischen und mechanischen Methoden, um eine umfassende Analyse verschiedener Prozessschritte zu ermöglichen. Das Gerät basiert auf einem flexiblen, modularen Aufbau, der eine einfache Integration in bestehende Test- und Analyseprozesse ermöglicht. ADE 9600/9700 ist in der Lage, eine Vielzahl von Parametern zu messen, einschließlich Messtechnik einschließlich Widerstand, Kapazität, Dicke, Oberflächentopographie und Zusammensetzung, während die 9700 verfügt über erweiterte Fehlererkennung und Charakterisierung Fähigkeiten. Die Systeme 9600 und 9700 basieren auf einer leistungsstarken Datenerfassungs- und Analyseplattform, die bis zu 2 TB Daten speichern kann. Die Maschine kann an die spezifischen Bedürfnisse einzelner Halbleiterhersteller angepasst werden und ermöglicht sowohl hohen Durchsatz als auch Präzision. Das Tool kann sowohl manuelle als auch automatisierte Prozesse ausführen, so dass es sowohl für Entwicklungs- als auch Produktionstests verwendet werden kann. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Probengrößen zu messen, von einzelnen Chips bis hin zu Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 450mm und wurde entwickelt, um zuverlässige, genaue Messwerte ohne Drift aufgrund von Exposition oder Oxidation zu liefern. KLA 9600/9700 asset ist mit einem umfangreichen Angebot an optischen, mechanischen und elektrischen Messgeräten ausgestattet, darunter ein 8-Level-CCD-Bildgebungsmodell für hochauflösende Wafermessungen, ein hochauflösendes optisches Profilometer für Oberflächentopographiemessungen und ein Widerstandssensor für 2D- und 3D kapazitätsmessungen. Weitere mitgelieferte Merkmale sind eine geringe Dunkelstrom/Selbstprüfbarkeit Ausrüstung für beleuchtete Erkennung von kurzen und offenen Schaltungen auf Wafern, und ein Fehlerüberprüfungssystem für Fehlerortung und Charakterisierung. TENCOR 9600/9700 ist eine fortschrittliche Messtechnik und Wafer-Testeinheit, die für hohen Durchsatz und Genauigkeit entwickelt wurde. Die Maschine verfügt über einen modularen Aufbau, der es Kunden ermöglicht, ihre Funktionalität nach Bedarf hinzuzufügen und zu erweitern. Dies macht es zu einem unschätzbaren Werkzeug für Halbleiterhersteller und bietet umfassende Wafer-Test- und Messtechnikfunktionen.
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