Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 9600 #9229873 zu verkaufen

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ID: 9229873
Wafer inspection system (2) Cassette input stations (3) Cassette output stations Prealigner station Hi-RES Station E-PLUS Advanced / Thickness B/W Station Signal effector am robot 9600 Power supply Non contact P/N type tester for wafer resistivity: 0.1 to 200 ohm-cm ADE 350 Arm controller Auto A probe ASC Controller.
ADE/KLA/TENCOR 9600 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um hochpräzise Messungen der 3D-Topographie und Oberflächeneigenschaften sowohl aus der Bearbeitungslösung als auch aus Materialien auf Wafer zu liefern. Sie bietet die erforderliche Flexibilität für Spitzenforschung und -entwicklung sowie die für kommerzielle Produktionsanwendungen erforderliche Zuverlässigkeit. Das System arbeitet nach einem zweistrahligen, berührungslosen, streuenden Prinzip und verfügt über schnelle und genaue Analysefähigkeiten. Es verwendet eine infrarote (IR) CCD-Kamera, um topographische Daten von optischen Streusignalen aus den getesteten Proben zu sammeln. Die Einheit arbeitet über einen Bereich von Anregungswellenlängen in einem einzigartigen breitbandigen und bildgebenden Kontext. Dies führt zu einer genaueren Beurteilung der Film- und Textureigenschaften und einer Gesamtmessung von 1.000 oder mehr Punkten pro Sekunde. Die Maschine bietet auch Voltage Contrast Imaging (VCI) an Voll- oder Einzelpunkt mit integrierter Rückkopplungssteuerung. Diese Funktion ermöglicht die Erfassung von Nano-Oberflächenbildern und -profilen auf ungespeicherten Wafern, die zur Charakterisierung von Flachheit und Verzug des Wafers beitragen. Zusätzlich zu den messtechnischen Fähigkeiten verfügt ADE 9600 über berührungslose Wafer-Analysefunktionen, so dass der Benutzer bis zu 100 Filme oder Schichten auf einem einzigen Wafer messen kann. Es verwendet einen globalen Hohlraumresonator, um die Waferdicke bei einer höheren Auflösung als Standardkontaktmessverfahren zu messen. Die fortschrittliche Optik und Bildverarbeitung im UCK 9600 machen es zu einer idealen Wahl für Forschungs- und Produktionsumgebungen. Maximaler Durchsatz, Top-Down-Bildgebung und Mapping-Funktionen machen 9600 zum perfekten Werkzeug für die Untersuchung von Produkten auf Waferebene. Die integrierte Software-Steuerung ermöglicht es dem Anwender, Prozessparameter zu konfigurieren und Wafer-Testergebnisse zu überwachen, zu verfolgen und zu analysieren. Abschließend ist TENCOR 9600 ein wesentliches Werkzeug für jede Halbleiterforschung und Produktionsumgebung. Seine hochpräzise und hochmoderne Messfunktionen optimieren den Wafer-Prüf- und Messtechnik-Prozess, was zu genaueren Messdaten führt. ADE/KLA/TENCOR 9600 sorgt mit einer Vielzahl von Mapping-, Bildgebungs- und Analysetechniken für hohe Leistung und Zuverlässigkeit während der anspruchsvollsten Wafertestanwendungen.
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