Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 9600 #9234990 zu verkaufen

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ADE / KLA / TENCOR 9600
Verkauft
ID: 9234990
Wafer inspection system.
ADE/KLA/TENCOR 9600 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Qualitätskontrolle und Prozessoptimierung im Halbleiterherstellungsprozess. Es ermöglicht eine schnelle, genaue und präzise Charakterisierung von Waferoberflächen und -mustern, so dass Bediener kostspielige Produktionsertragsverluste minimieren können. Das System verwendet fortschrittliche berührungslose optische Messtechniken, einschließlich mehrfacher Bildgebungs-, Mess- und Bildanalyseoperationen. Es verfügt über eine integrierte Farbe CCD (charge-coupled device) Kamera und Laserbeugungssensor mit einem 8-Zoll-Wafer-Inspektionsbereich. Es enthält auch eine Autofokussiereinheit und einen branchenführenden Algorithmus für eine schnelle und genaue automatische Mustererkennung. Diese Messtechnik-Maschine unterstützt eine Vielzahl von Messtechniken. Es kann kritische Bemaßungen wie Linienbreiten, Linienabstände, Linienendpunkte und Linienwinkel sowie komplexere Parameter wie die Gesamtlinienkontur messen. Es unterstützt auch die spektroskopische Ellipsometrie, um verschiedene Dicken und Brechungsindizes zur Charakterisierung dünner Filme zu messen. ADE 9600 ist in die neueste Software zur statistischen Prozesssteuerung (SPC) integriert, die die Auswertung und Analyse großer Produktionschargen ermöglicht. Das Tool verfügt über eine breite Palette spezialisierter Software-Tools wie Kantenerkennung, Graustufenzuordnung und kritische Bemaßungsanalyse. Dadurch kann der Bediener große Datenmengen aus vielen Wafern schnell verarbeiten und nicht konforme Einheiten leicht identifizieren. Die KLA 9600 verfügt über eine umfassende programmierbare Anwendungsumgebung, mit der kundenspezifische Halbleitertestlösungen erstellt werden können. Dazu gehören leistungsstarke Algorithmen zur Mustererkennung, Bibliotheken gebrauchsfertiger Messskripte und komplette Unterstützung für externe Programmiersprachen wie C, C++ und Visual Basic. Schließlich verfügt das Asset über ein hochauflösendes 5,7-Zoll-Touchscreen-Display in Kombination mit einer hochintuitiven grafischen Benutzeroberfläche (GUI). Dies macht es einfach, messtechnische Operationen durchzuführen, wodurch Anwenderfehler und Zeitaufwand für die Durchführung von Messungen reduziert werden. 9600 ist ein leistungsstarkes Wafer-Test- und Metrologiemodell, das Herstellern helfen soll, die Qualität und Effizienz ihres Halbleiterproduktionsprozesses zu verbessern. Mit seinen fortschrittlichen berührungslosen optischen Messtechniken, branchenführenden Erkennungsalgorithmen und vielseitigen Software-Tools können Benutzer Fehler auf Waferoberflächen schnell erkennen und analysieren.
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