Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 9600 #9240649 zu verkaufen

ADE / KLA / TENCOR 9600
ID: 9240649
Wafer inspection system.
ADE/KLA/TENCOR 9600 ist eine von ADE entwickelte Wafer-Prüf- und Messtechnik. Seit seiner Einführung im Jahr 2006 ist ADE 9600 von der Halbleiter- und Flachbildschirmindustrie aufgrund seiner Fähigkeit, kleine Merkmale auf dünnen Wafern schnell und präzise zu testen, weit verbreitet. Das KLA 9600 System verfügt über eine HBO-Einheit (Horizontal Build Optics), die präzise Messungen von Größe, Form und Konsistenz der Wafer bei hoher Geschwindigkeit ermöglicht. Diese Maschine ist in der Lage, Merkmalsgrößen im Bereich von 30nm bis 10 um mit ausgezeichneter Genauigkeit genau zu messen. TENCOR 9600 ist auch mit hochauflösenden Bildgebungssystemen bis zu 5um ausgestattet, die eine hochgenaue Abbildung kleiner Merkmale und Defekte auf der Waferoberfläche ermöglichen. Das 9600-Tool ist auch in der Lage, Leistungsmetriken für schnellere Prozesskontrolle und Zykluszeiten zu analysieren. Das Asset verwendet Metriken wie Overlay, kritische Dimension (CD), Bildqualität und Wafer-Rotation, um Prozessbedingungen schnell zu diagnostizieren und zu verbessern. Zusätzlich kann das Modell die Zusammensetzung von Overlay, Resistdefekten und Verschmutzung der Waferoberfläche analysieren. ADE/KLA/TENCOR 9600 Geräte sind mit hoher Zuverlässigkeit im Auge, mit einem Backend-System entwickelt, um kontinuierliche Tests in statischen oder dynamischen Umgebungen durchzuführen. Das Gerät ist auch mit einer ganzen Reihe von automatisierten Funktionen, einschließlich einer Kalibrierfunktion, automatisierte Ergebnisverarbeitung, schnelle Bildanalyse und automatische Druckanwendung entworfen. Darüber hinaus ist die ADE 9600-Maschine für die Schnittstelle mit einer zentralen, einheitlichen Softwareplattform konzipiert, mit der Benutzer Wafertests von einem Wafer zum nächsten verfolgen, Waferdefekte sofort erkennen und Korrekturen erleichtern können. Dieses Tool ist auch in der Lage, den Benutzern ein schnelles Feedback zu Ertrags- und Qualitätsdaten zu geben. Abschließend ist KLA 9600 eine fortschrittliche Wafer-Test- und Messtechnik-Komponente, die von der Halbleiter- und Flachbildschirmindustrie weit verbreitet ist. Es verfügt über ein HBO-Modell (Horizontal Build Optics) und hochauflösende Bildgebungssysteme für genaue Wafer-Funktionstests sowie eine Reihe automatisierter Funktionen und eine einheitliche Softwareplattform.
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