Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 9800 UltraScan #9046074 zu verkaufen

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ID: 9046074
Wafer characterization system, 8" ULTRASCAN 9800 Flat top standard base system: Wafer Size 6" and 8" High Accuracy Noncontact Prealigner E-Squared Advanced/Thickness, B/W Station May accommodate up to 5 cassettes Auto A Probe included Advanced System Controller 2000 and Accessories: UPS (uninterruptible power supply) System Software and Operating System: SCO 5.0 UNIX System Included: Part No. 9300-DEET Robot Dual End Effector Teflon Coated - 135° Part No. 7800-150-ASC2K Standard ASC Software for ASC2000 Part No. 7800-180 15" ViewSonic Flat Panel Monitor (2) Part No. 9300-36ND Send "Universal" cassette station (3) Part No. 9300-37ND Receive "Universal" cassette station Part No. 7800-6HZ System configured for 60 HZ Part No. 7820-220 Line Conditioner and Transformer, 4.8 kVA Input Voltage: 220 V 50/60 HZ Input: 9 Foot Linecord with L14-30P Plug Output: (1) L14-30R Receptacle Part No. 025106-01 Topside Non-contact type N or P type wafers Resistivity 0.1 to 200 ohm-cm Part No. 444001 ReportTools Part No. 9300-57EMI High Range EMI, High-Accuracy Resistivity Station (0.200 - 199.9 ohm/cm) Robot error when attempting to run calibration Currently installed 2004 vintage.
ADE/KLA/TENCOR 9800 UltraScan ist eine Desktop-Wafer-Inspektions- und Messtechnik-Ausrüstung, die eine Vielzahl von Tests durchführt, um die Qualität und Eigenschaften von Halbleiterscheiben zu beurteilen. Das System bietet hochpräzise Analytik und messtechnische Fähigkeiten, um die strukturellen Eigenschaften von Wafern zu bestimmen. Es können verschiedene Tests durchgeführt werden, einschließlich Scannen auf Verunreinigungen und Defekte, Charakterisierung von Formen und Größen, Messung elektrischer Eigenschaften und Analyse statistischer Prozesskontrolldaten zur Verringerung der Ertragsvariabilität und der Fertigungszeiten. ADE 9800 UltraScan verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, die es ermöglichen, Halbleiterscheiben schnell und genau zu überprüfen. Es ist mit einer automatisierten Wafer-Handhabungseinheit ausgestattet, um einen schnellen Probenaustausch zu gewährleisten. Es verfügt auch über erweiterte Bildgebung und Optik, um die Oberfläche des Wafers im Detail zu betrachten. Darüber hinaus ist die Maschine optimiert, um eine Reihe von Anwendungen mit einer Vielzahl von Analysetechniken zu unterstützen, einschließlich Rasterelektronenmikroskopie und konfokale Mikroskopie Bildgebung. Die Maschine ist auch mit einer Vielzahl von Funktionalitäten ausgestattet, um die Wafer-Inspektion zu erleichtern. Es verfügt über Analysefunktionen, um Verunreinigungen und Defekte auf Wafern zu identifizieren und die Oberflächengüte zu validieren. Es verfügt auch über detaillierte Inspektions- und Messtechnik-Fähigkeiten zur Messung kritischer Ladungen von Waferformen und -größen, wie z. B. Steigung, Kantenprofil und Radius. Darüber hinaus verfügt KLA 9800 UltraScan über eine leistungsstarke SPC-Suite (Statistical Process Control) zur Erstellung von SPC-Diagrammen und Kontrolldiagrammen zur Überwachung der Produktionserträge und zur Identifizierung von Fertigungsunregelmäßigkeiten. Die Maschine verfügt auch über erweiterte Netzwerkfunktionen für die Fernbedienung von Maschinen und die gemeinsame Nutzung von Daten. Es verfügt über Ethernet-Ports, um Controller an ein lokales oder weiträumiges Netzwerk anzuschließen, sowie Anwendungsprogrammierschnittstellen zur Integration mit anderen Systemen. Damit können 9800 UltraScan in werkseitigen Automatisierungs- und Datenmanagementsystemen eingesetzt werden. Insgesamt ist TENCOR 9800 UltraScan eine leistungsstarke, hochpräzise Wafertest- und Messtechnik-Maschine. Es bietet eine Vielzahl von Funktionen, darunter erweiterte Bildgebung und Optik, automatisierte Wafer-Handhabung, Analysefunktionen, detaillierte Inspektions- und Messtechnik-Funktionen und eine leistungsstarke SPC-Suite. Darüber hinaus verfügt es über erweiterte Netzwerkfunktionen für Fernbedienung und Datenaustausch. Damit ist sie eine ideale Wahl für die Beurteilung von Halbleiterscheiben und die Überwachung der Produktionserträge.
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