Gebraucht ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293641958 zu verkaufen

ADE / KLA / TENCOR AFS 3220
ID: 293641958
Wafer inspection system.
ADE/KLA/TENCOR AFS 3220 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit für eine Vielzahl von Anforderungen an Wafertest und Messtechnik bietet. Es besteht aus einem optischen Wafer-Messtechnikmodul, einem Wafer-Tester, einem Profilometer und einem Datenerfassungssystem. Die Datenerfassungseinheit erfasst und speichert Daten aus dem Test- und Messtechnik-Betrieb und liefert die notwendigen Daten für die Prozesssteuerung. Das optische Modul verfügt über eine präzise optische Quarz-Trägerplatte, die dem Anwender eine überlegene Stabilität und Wiederholbarkeit verleiht. Es kann Bilder des Wafers in verschiedenen Vergrößerungen und Granularitätsstufen aufnehmen und stützt sich auf eine mehrschichtige mikroprozessorgesteuerte Bildverarbeitungsmaschine. Das Tool ist in der Lage, verschiedene Arten von Analysen, einschließlich Fourier-Analyse und Bildverarbeitung auf die erfassten Daten, um den Benutzern das genaueste Maß für den Zustand des Wafers zu geben. Das Wafer-Tester-Modul dient zur Erkennung und Analyse verschiedener Düsenfehler, wie kurze Hosen und Öffnungen, Musterfehler und elektrische Fehler. Der Tester verwendet hochauflösende Mustererkennungstechniken, die eine schnelle und zuverlässige Fehlererkennung ermöglichen. Es hat auch die Fähigkeit, Tests mit einem hohen Durchsatz durchzuführen, so dass es ideal für hohe Serienanforderungen. Das Profilometer-Modul ist zur Messung des Profils der Waferoberfläche sowie anderer Oberflächenmerkmale ausgelegt. Das Profilometer ist mit einem Laser- und Nanometer-Interferometerkopf ausgestattet, der das Profil des Wafers mit Submikron-Genauigkeit genau messen kann. Schließlich ermöglicht die Datenerfassung die Erfassung und Speicherung von Daten aus allen anderen Modulen. Diese Daten können dann verwendet werden, um die Waferqualität zu messen, Fehler zu erkennen und zu analysieren und die notwendigen Informationen für die Prozesssteuerung und das Ertragsmanagement bereitzustellen. Das Modell ADE AFS 3220 ist eine ideale Lösung für jede Organisation, die eine zuverlässige, genaue und wiederholbare Wafertest- und Messtechnik benötigt. Es bietet überlegene Genauigkeit mit einer breiten Palette von Funktionen, bei gleichzeitiger Aufrechterhaltung eines robusten, kostengünstigen und energiesparenden Systems.
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