Gebraucht ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293645322 zu verkaufen

ID: 293645322
Wafer inspection system 2006 vintage.
ADE/KLA/TENCOR AFS 3220 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um zuverlässige und genaue Messungen mehrerer Parameter im Zusammenhang mit den elektrischen, optischen und mechanischen Eigenschaften und der Leistung von Halbleiterscheiben bereitzustellen. Dieses System ist in der Lage, bis zu 32 Wafer gleichzeitig zu messen, was hohe Durchsatzraten für Wafer-Tests und -Analysen ermöglicht. Das Gerät läuft unter Windows 10 und verfügt über ein 21-Zoll-Display für einfache Einrichtung und Bedienung. Eine Auswahl an Softwarepaketen ist verfügbar, um den Bereich der Messungen zu erweitern, die die Maschine handhaben kann, so dass sie ein breiteres Spektrum von Anwendungen abdecken kann. Es umfasst ein integriertes Mikroskop und drei Messköpfe, die einen vollen Zugang zur Oberfläche der Wafer ermöglichen. ADE AFS 3220 ist mit einem hochauflösenden Bildgebungswerkzeug ausgestattet, das eine genaue Messung von Parametern wie Oberflächentopologie und Verschmutzungsstufen, Linienbreiten, kritischen Abmessungen und Überlagerungstreue ermöglicht. Die automatisierte Mustererkennung ermöglicht es dem Asset, Muster zu erkennen, was eine einfache automatische Kalibrierung und Bestätigungsmessung ermöglicht. Es ist auch in der Lage, enge Toleranz Gerätestrukturen und andere komplexere Bauformen zu messen. Das Modell kann bis zu einer Genauigkeit von mehr als 10nm messen und eignet sich somit auch für Prozesstechnologien im Submikronmaßstab. Die KLA AFS 3220 umfasst mehrere Technologien und Technologien von ADE, KLA und TENCOR. Es basiert auf einer Metrologie-Architektur mit einem Wafer-Spannfutter, einer präzisen XY-Bühne und einer branchenführenden Steuerungsausrüstung. Das verfügt über ein leistungsstarkes konfokales Laseranalysesystem für präzise Bildgebung sowie präzise und zuverlässige Wirbelstromsensoren für elektrische Messungen. Es ist mit einer hochauflösenden RGB-Bildgebungseinheit und einer schwingungsisolierten Optik ausgestattet, um die Messgenauigkeit weiter zu erhöhen. AFS 3220 wurde entwickelt, um mit einer breiten Palette von Substraten und Anwendungen zu arbeiten. Seine modulare und skalierbare Konstruktion ermöglicht die Integration in verschiedene Produktionsumgebungen und liefert zuverlässige und genaue Messungen unabhängig von der Größe des Produktionsloses. Es ist auch mit Standard-Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um die Bediener und die Maschine zu schützen, so dass es für 24/7 Wafer-Tests und Inspektionen geeignet ist.
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