Gebraucht ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293645327 zu verkaufen
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ID: 293645327
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2021
Wafer inspection system, 12"
Flatness measuring
2021 vintage.
ADE/KLA/TENCOR AFS 3220 ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik, die auf hohe Genauigkeit, hohe Durchsatzmessung und Prüfung von Halbleiterbauelementen ausgelegt ist. Es bietet die Möglichkeit, die Qualität von Halbleiterscheiben während des gesamten Herstellungsprozesses von Anfang bis Ende zu bewerten und zu überwachen. Das System bietet einen umfassenden Funktionsumfang für Wafertests und Messtechnik und wurde für Produktionsumgebungen konzipiert. Das Gerät verfügt über eine hohe Genauigkeit und hohe Geschwindigkeit CCD-Bildverarbeitungs-Engine, die in der Lage ist, Bilder von bis zu 160 Megapixel Auflösung zu produzieren. Diese leistungsstarke Abbildungsmaschine ist mit einer hochpräzisen Laser- und optischen Maschine kombiniert, die es ermöglicht, die kritischen Merkmale auf einem Halbleiterwafer genau zu messen. Das Präzisions-Laserwerkzeug kann Merkmale bis zu 0,4 Mikrometer messen und zur genauen Ausrichtung und Wiederholbarkeit korrekt auf die Waferoberfläche verweisen. Das Asset ist in der Lage, mit seinen Fehleranalyse-Tools eine breite Palette von Halbleiterdefekten zu erkennen. Es verwendet fortgeschrittene Mustererkennungstechniken, um Fehler in einer Vielzahl von Parametern wie Größe, Form und Position genau zu identifizieren und zu klassifizieren. Das Modell verfügt außerdem über eine erweiterte OCD-Steuerung (Overlay and Critical Dimension), die es ermöglicht, Stempel-zu-Form, Wafer-zu-Wafer und die Stempel-zu-Wafer-Offsets mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu messen. Dadurch ist sichergestellt, dass alle Wafermessungen konsistent und zuverlässig sind. Das umfassende Portfolio an Berichts- und Analysetools von ADE AFS 3220 bietet umsetzbare Einblicke in den Herstellungsprozess. Es ist in der Lage, detaillierte statistische Analysen von Produktions-, Ertrags- und Qualitätsdaten bereitzustellen, sodass Prozessingenieure Prozessprobleme schnell identifizieren und beheben können. Das Gerät umfasst auch eine Reihe von Display-Tools, die eine Echtzeit-Visualisierung der Produktionsdaten ermöglichen, so dass Benutzer Trends und Prozessprobleme schnell erkennen können. Zusammenfassend ist KLA AFS 3220 ein leistungsfähiges Wafertest- und Messtechniksystem, das in der Lage ist, hohe Genauigkeitsergebnisse in einer Produktionsumgebung zu liefern. Das Gerät ist in der Lage, eine Reihe von Fehlern zu erkennen, und seine umfassende Palette von Berichts- und Analysewerkzeugen bietet einen genauen Einblick in den Herstellungsprozess.
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