Gebraucht ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293757402 zu verkaufen

ID: 293757402
Wafer inspection system.
ADE/KLA/TENCOR AFS 3220 ist eine halbautomatische Wafer-Prüf- und Messtechnik zur Messung physikalischer, elektrischer und optoelektronischer Eigenschaften von Halbleitermaterialien. Dieses System bietet visuelle Inspektion und automatisierte Fehlerklassifizierung, Wafer-Mapping und Widerstandstests sowie eine integrierte optische Bildgebungsstation für die Waferoberflächen- und Rückseiteninspektion. ADE AFS 3220 umfasst ein optisches Mikroskop mit einer programmierbaren Brücke und einer 150mm Dual-Head-Bedienbarkeit, die eine hochpräzise Inspektion beider Seiten des Wafers ermöglicht. Eine hochauflösende Inspektionsoption für polarisiertes Licht und Reflexion (PLR) erleichtert die Analyse von Oxid und CARI und anderen Materialien. Das Gerät enthält auch maximal vier MWI-Laserdioden, eines der beliebtesten Werkzeuge für die schnelle elektrische Prüfung von Halbleiterbauelementen. Diese hochpräzise, integrierte Maschine liefert genaue, wiederholbare Messwerte von Geräteparametern und ermöglicht die elektrische Lokalisierung von Defekten mit hoher Geschwindigkeit. Eine Kamera-Workstation ist im Tool enthalten, um Parameter-Messtechnik, Bildanalyse und Echtzeit-Fehlermaskierung zu ermöglichen. Die automatisierte Fehlerklassifizierung (ADC) ermöglicht es Benutzern, Fehler anhand von Eigenschaften schnell zu lokalisieren und zu klassifizieren, während die Wafer-Mapping-Funktion einen sofortigen Überblick über die Waferstruktur und die Datenmuster bietet. Das Wafer-Mapping kann sowohl auf Teile als auch auf Wafer voller Höhe angewendet werden. Die KLA AFS 3220 wurde entwickelt, um die höchsten Industrieanforderungen an den Betrieb, die Zuverlässigkeit und die Anlagenintegration zu erfüllen. Seine robusten Komponenten und Software sind so konzipiert, dass maximale Datengenauigkeit und Modellstabilität gewährleistet sind. Es verfügt über eine intuitive, benutzerfreundliche Oberfläche und erfordert eine minimale Wartung und Schulung. Dank der vielfältigen Zugriffs- und Optionsmöglichkeiten können sie für eine Vielzahl kundenspezifischer Anwendungen konfiguriert werden, von Einzel- bis zu Mehrbenutzerlösungen, während ihre Skalierbarkeit es zu einer Investition macht, die im Laufe der Zeit weiterhin Ergebnisse liefert. TENCOR AFS 3220 Wafer-Prüf- und Messtechnik ist als integrierte Lösung konzipiert, um alle Ihre Anforderungen an automatisierte Wafer-Inspektion, Fehlerklassifizierung und elektrische Prüfung zu erfüllen. Das System ermöglicht maximale Produktionsausbeute, Genauigkeit und Kosteneinsparungen und liefert die vollständigen, konsistenten Informationen, die für die Entwicklung und Produktion fortschrittlicher Mikroelektronik erforderlich sind.
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