Gebraucht ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293757418 zu verkaufen
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ADE/KLA/TENCOR AFS 3220 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die eine hohe Auflösung von 2D- und 3D-Daten für anwendungsspezifische Messungen an Front- und Rückseitenflächen von Wafern liefert. Das System ist zur Erkennung von Oberflächenfehlern auf Halbleiterscheiben sowie zur Messung verschiedener Profil- und kritischer Dimensionsparameter ausgelegt. Diese Einheit ermöglicht gestaltetes Maß mit der unabhängigen X-- und Y-Achsenstufenbewegung und verwertet eine schnelllaufende, hochauflösende Bildaufbereitungsmaschine, die Autofokus, Musteranerkennung und Defektentdeckungstechnik verbindet, um 2D-Bilder und 3D-Oberflächenbilder mit bis zu 5µm Entschlossenheit im X- und der Y-Achse zu erzeugen. Das Tool verfügt auch über einen 10-Zoll-Spiegel und motorisierte z-Achsen-Bühnen-Lift-Asset zur Erfassung von Daten, sowie ein 5-Positionen-integrierte Beleuchtung Modell, das vollständig programmierbar ist mit UV, Sichtbar, und IR-Lichtquellen, so dass eine genaue Analyse der Reflektivität und Oberflächenmerkmale. Die hochautomatisierte Ausrüstung verfügt auch über erweiterte Fehlerüberprüfungs- und Klassifizierungstools, die Fehleranalyse, Sortierung und Identifizierung ermöglichen. Darüber hinaus umfasst das System ADE Process Monitor (KPM), das Echtzeit-Datenanalyse und Leistungsüberwachung bietet. Das KPM ermöglicht die Ermittlung der Fehlerursachen und ermöglicht rechtzeitige Korrekturmaßnahmen und verbesserte Erträge. Schließlich bietet ADE AFS 3220 eine integrierte Umgebung zur Fehlererkennung, Überprüfung und Klassifizierung sowie zur Messung von Parametern auf strukturierten 2D- und 3D-Oberflächenprofilen. Das Gerät läuft auf einer Windows 10-Plattform und ermöglicht eine einfache Anpassung der Fehlerüberprüfungs- und Messparameter an die spezifischen Anforderungen. Mit einer breiten Palette von Optionen ist die KLA AFS 3220 eine effektive und zuverlässige Wafer-Prüfmaschine für die Auswertung und den Vergleich von hoch- und niedervolumigen Teilen.
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