Gebraucht ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293771675 zu verkaufen
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ID: 293771675
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Wafer inspection system, 12"
2004 vintage.
ADE AF S3220 ist eine leistungsstarke Wafer-Prüf- und Messtechnik für die Halbleiterindustrie. Dieses System nutzt modernste Bildgebungs- und Messtechnik, um Wafer und andere Halbleiterbauelemente zu untersuchen, zu messen und zu analysieren. ADE/KLA/TENCOR AFS 3220 ist eine automatische Hochgeschwindigkeitseinheit, die auf einer Regelmaschine arbeitet. Dieses Verfahren gewährleistet präzise Oberflächenmessungen von Wafern und Dünnschichtschichten bei Nanometergenauigkeit. Das Werkzeug ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesserbereich von bis zu acht Zoll (203,2 mm) zu testen. Darüber hinaus verfügt ADE AFS 3220 über ein konfigurierbares Sichtfeld von 20 mm bis 450 mm. KLA AFS 3220 beinhaltet fortschrittliche Bildgebungs- und Messtechniken für Präzisionswafertests. Dazu gehört auch die Phase Coded Defocusing (PCD), die Wafer-Funktionen genau misst und kontrastreiche Bilder erzeugt. High-Speed Shutter Scanning wird verwendet, um schnell dreidimensionale Bilder in der Tiefe zu erfassen. Die Rasterelektronenmikroskopie (Scanning Electron Microscopy, SEM) bietet eine detaillierte Ansicht der Oberflächentopographie unter einem Elektronenstrahl. Darüber hinaus werden die messtechnischen Fähigkeiten unter der Oberfläche durch Chemical Milling ermöglicht, bei dem bearbeitete Querschnitte mikroskopisch auf mögliche Defekte untersucht werden. AFS 3220 Asset verfügt auch über mehrere erweiterte Funktionen, um effiziente Tests und Analysen zu ermöglichen. Dazu gehört ein In-Line-Modell zur Fehlerüberprüfung, das eine schnelle und effiziente Überprüfung möglicher Fehler ermöglicht. Automatisierte Fehlerklassifizierung und -erkennung minimieren den Zeitaufwand des Personals für die routinemäßige manuelle Inspektion. Darüber hinaus ist eine Düsenerkennungseinrichtung zur visuellen Erkennung von Düsenmustern in der Lage. Abschließend ist das TENCOR AFS 3220 Wafer-Prüf- und Messtechnik-System eine zuverlässige und effiziente Lösung für die Halbleiterprüfung. Dieses Gerät kombiniert modernste Bildgebungs- und Messtechnologie mit fortschrittlichen Funktionen, einschließlich Phase Coded Defocusing, High-Speed Shutter Scanning und In-Line Defect Review. Darüber hinaus verfügt ADE/KLA/TENCOR AFS 3220 über einen konfigurierbaren Arbeitsbereich für verschiedene Arten von Wafern und Größen. ADE AFS 3220 ist ein wesentliches Werkzeug für Halbleiterhersteller und bietet effiziente und zuverlässige Wafer-Prüf- und Messtechnik-Fähigkeiten. Die Kombination aus Eigenschaften und Eigenschaften dieser Maschine macht sie zu einem zuverlässigen Werkzeug für die hochpräzise Prüfung und Analyse von Wafern und anderen Halbleiterbauelementen.
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