Gebraucht ADE / KLA / TENCOR MicRhoSense 6035 #9157018 zu verkaufen
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ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035 ist eine Hochleistungs-Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für höchste Effizienz, Genauigkeit und Zuverlässigkeit ausgelegt ist. Es bietet Wafer-Pegelmessungen von elektrischen und optischen Parametern von 0 bis 6035 Angströmen und liefert detaillierte Einblicke in die Waferleistung, so dass Hersteller ihre Produkte besser verstehen können. Das System umfasst ein teleskopierbares Dual-Achsen-Reflektometer (ARDER) für Inline-Reflexionsmessungen, ein automatisiertes Wafer-Mapping-Mikroskop für Standard-Ober- und Seitenansichten von Wafern sowie fortschrittliche Farbbild- und Helligkeitsdaten für Messung und Analyse. Es ermöglicht Anwendern die Flexibilität, sowohl integrierte Schaltkreise (IC) als auch Nicht-IC-Prüfkörper zu verarbeiten, dank seiner vollständigen Abdeckung des Waferspektrums bis zu 6,035 nm. ADE MicRhoSense 6035 verfügt über einen hohen Dynamikbereich von bis zu 230dBs sowie eine minimale Linienbreite von 5mm, die zur Messung der Matrize mit schmalen Eigenschaften, feinen Linien und dünnen Schichten geeignet ist. Darüber hinaus kann das Gerät eine breite Palette von Materialien mit hohem Durchsatz verarbeiten und zuverlässige Kalibrierungen und Validierungen bereitstellen. Es ist mit automatisierten Verstärkungs- und Offset-Korrekturalgorithmen ausgestattet, um die Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu verbessern. Die Maschine verfügt auch über eine eingebaute Selbsttestfunktion (automatisierte Fehlerinspektion), die für die automatisierte In-Process-Diagnose verwendet werden kann. KLA MicRhoSense 6035 ist hochgradig anpassbar und bietet eine breite Palette von Optionen, wie fortschrittliche Software zur Datenauswertung und -analyse, und eine große Auswahl an Zubehör, wie Strahlteiler und Polarisatoren sowie eine breite Palette von Mikroinspektions- und Messtechnik-Tools. Dieses Werkzeug ist auf maximale Effizienz und Genauigkeit ausgelegt und eignet sich für verschiedene Anwendungen in der Waferfertigung, wie Fehleranalyse sowie Prozesskontrolle, Fehlererkennung und Qualifizierung. Diese Anlage bietet eine umfassende Lösung für Produktions- und Engineering-Teams sowie Halbleiterunternehmen und Wafer-Fertigungsanlagen.
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