Gebraucht ADE / KLA / TENCOR MicRhoSense 6035 #9301379 zu verkaufen

ID: 9301379
Slice resistivity gage.
ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik. Es ist in der Lage, hochgenaue Messungen zu erzeugen, die für die Herstellung von Wafern an Halbleitereinrichtungen von entscheidender Bedeutung sind. Das System verfügt über eine Die-to-Database-Architektur, die einen direkten Vergleich der Messergebnisse mit Referenzphotomasken und verschiedenen Halbleiterprozessknoten ermöglicht. Dadurch wird sichergestellt, dass der Wafer-Herstellungsprozess höchsten Genauigkeitsstandards entspricht. ADE MicRhoSense 6035 enthält mehrere Designelemente, um die Genauigkeit zu gewährleisten, einschließlich einer erweiterten Mustererkennungsfunktion und automatisierter Schwellenwerte. Diese Mustererkennung verwendet proprietäre Algorithmen, um die Art des vorhandenen Fehlers, wie Kurz- oder Unterbrechung, zu bestimmen und dann die Position des Fehlers relativ zur Referenzphotomaske zu definieren. Auf diese Weise kann das Gerät die Parameter eines bestimmten Defekts wie Höhe oder Fläche genau messen und verschiedene Arten der Fehleranalyse durchführen. KLA MicRhoSense 6035 verfügt auch über eine spezialisierte Ausrichtmaschine. Dieses Werkzeug verwendet hochpräzise Optik und präzise Bewegungs- und Drehstufen, um eine exakte Positionierung des Wafers relativ zur Referenzphotomaske zu gewährleisten. Dadurch lassen sich präzise Messungen mit wiederholbarer Genauigkeit durchführen. Darüber hinaus verfügt das Asset über ultrakurzwellige Lasermesstechnik für hochpräzise Messungen kritischer Dimensionen. Dies ist entscheidend für die Bewertung der Waferproduktionsausbeute und Wiederholbarkeit. MicRhoSense 6035 verwendet mehrere Prüfmodi, um eine maximale Genauigkeit der Ergebnisse zu gewährleisten. Dazu gehören Konturmapping, Fehlererkennung und Fehlerisolierung, Wafer-Mapping und Klassendefektanalyse. Diese Modi sind in Software-Algorithmen implementiert, die wesentlich präzisere Messungen durchführen können als bei herkömmlichen Inspektionssystemen. Schließlich verfügt TENCOR MicRhoSense 6035 über eine intuitive Benutzeroberfläche, die eine schnelle und einfache Einrichtung und Kalibrierung des Modells ermöglicht. Darüber hinaus hat das Gerät Zugang zu einer umfangreichen Bibliothek von Setup-Parametern, die je nach Bedarf für einen bestimmten Hersteller angepasst werden können. Dadurch können Benutzer die Genauigkeit maximieren und die Rüstzeit minimieren. Alle diese Merkmale kombinieren ein umfassendes Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das in der Lage ist, die anspruchsvollsten Halbleiterherstellungsprozesse zu handhaben.
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