Gebraucht ADE / KLA / TENCOR MicRhoSense 6035 #9301390 zu verkaufen

ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035 ist eine leistungsstarke Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die eine Prozesssteuerung in der Halbleiterindustrie ermöglicht. Das System ermöglicht die schnelle Erkennung und Analyse von Defekten auf Wafern und ermöglicht die Feinkornanalyse von Merkmalsgrößen auf Prozessschichten, ob beim Abscheiden oder später im Herstellungsprozess. Das Gerät besteht aus einem spezialisierten automatisierten optischen Mikroskop (AOM), das Bildaufnahme und manuelle Messungen mit bis zu 10x-100x Zoomfunktionen und eine Vielzahl von Filtern für verschiedene Schichten bietet. Eine fortschrittliche Auto-Fokus-Maschine ist in der Lage, sich auf Schichten innerhalb von 1um der Oberfläche zu konzentrieren und das Werkzeug kann mit Wafergrößen von 1 „, 2“, 3 „, bis 12“ umgehen. Die Benutzeroberfläche des Assets ist sehr intuitiv und einfach zu bedienen. Die Software bietet eine einfache Einrichtung für automatisierte Messungen wie Funktionsgröße, Fehlerdichte, Overlay und CD über mehrere Matrizen oder Schichten sowie Fehlerklassifizierung nach Typ. Die programmierbare Art der Software ermöglicht auch eine individuelle Trace-Datenerfassung und -analyse, Fehlerimpedanzkorrekturen und erweiterte Algorithmen. Das Modell verfügt auch über eine Defect Review Station, die eine detailliertere Analyse von Fehlern mit 3D-Konturen und Überlagerungsmessungen ermöglicht. Darüber hinaus kann die SmartRing-Analyse verwendet werden, um Prozesspraktiken zu vergleichen, Ergebnisse zu beheben und Korrekturmaßnahmen zu ergreifen. Zusammenfassend bietet ADE MicRhoSense 6035 eine leistungsstarke Plattform für Wafertests und Messtechnik. Die erweiterten Funktionen zur automatischen Fokussierung, Fehlerklassifizierung und Verfolgungsdatenanalyse ermöglichen eine schnelle und genaue Fehlererkennung und Prozessschichtüberprüfung. Mit seiner intuitiven Benutzeroberfläche und leistungsstarken Fehlerüberprüfungsfunktionen gewährleistet die Ausrüstung eine effiziente und präzise Prozesssteuerung.