Gebraucht ADE / KLA / TENCOR MicRhoSense 6035 #9301392 zu verkaufen

ID: 9301392
Slice resistivity gage.
ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035 ist ein anspruchsvolles Wafer-Prüf- und Messtechnikinstrument für die Serienproduktion und Qualitätssicherung in der Waferfertigung. Es verfügt über einen kompakten und modularen Aufbau mit einem geringen Platzbedarf und minimalen Anforderungen an die Probenvorbereitung. Die Geräte basieren auf einem fortschrittlichen Bildverarbeitungs-Subsystem, das Waferdefekte wie Kratzer, Partikel und Oberflächenmängel schnell identifiziert. Es führt auch zerstörungsfreie 3D-Messtechnik-Messungen mit anpassbaren Probenahmepunkten und hoher Genauigkeit durch. ADE MicRhoSense 6035 ist mit einem integrierten Robotersystem ausgestattet, das eine automatische Navigation und Probenhandhabung ermöglicht. Die Einheit ist auch für eine Hochleistungs-Waferbelastung mit Seite-zu-Seite-Zuführungen und einem vibrationsreduzierenden Probenhalter ausgelegt. Dadurch wird sichergestellt, dass Proben schnell und dennoch mit höchster Präzision transportiert und gehandhabt werden. Die Fehlererkennungsfunktionen von KLA MicRhoSense 6035 werden teilweise von der integrierten Plattform Intelligent Imaging angetrieben. Diese innovative Software-Engine verwendet fortschrittliche Algorithmen, um eine automatisierte Partikelerkennung zu ermöglichen und sowohl flache als auch gemusterte Proben auf Waferschäden zu analysieren. Dieses Bildverarbeitungs-Subsystem kann nach individuellen Nutzerbedürfnissen konfiguriert werden und ist in der Lage, verschiedene Fehler zu identifizieren, wie periodische, anhaltende und zufällige Fehler. MicRhoSense 6035 verfügt außerdem über ein Laser-Scatter-Array zur Hochgeschwindigkeits-berührungslosen 3D-Abbildung der Oberflächentopographie des Wafers. Dies ermöglicht genaue Messungen mit sehr kleinen Geräuschpegeln sowohl für planare Texturen als auch für komplexe strukturierte Oberflächen. Diese Maschine ist auch für einen hohen Durchsatz optimiert, mit einer geschätzten Akquisitionszeit von 50 Sekunden pro Probe. Schließlich ist TENCOR MicRhoSense 6035 für Produktivität und Benutzerfreundlichkeit mit automatisierten ADE-Softwareplattformen kompatibel. Diese ermöglichen eine einfache Integration und Bedienung auf einer einzigen Plattform mit Software-Tools, die über fortschrittliche Metrologie-Algorithmen für eine schnelle und genaue Datenanalyse verfügen. Diese Funktionen stellen zusammen mit der Wirtschaftlichkeit sicher, dass ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035 eine leistungsfähige, aber benutzerfreundliche Test- und Messtechnik-Lösung für alle Anforderungen der Waferherstellung ist.
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