Gebraucht ADE / KLA / TENCOR Microsense 4830 #9239558 zu verkaufen

ID: 9239558
Weinlese: 2007
System 2007 vintage.
ADE/KLA/TENCOR Microsense 4830 Wafer-Prüf- und Messtechnik von ADE, KLA und TENCOR ist für präzise, volumenreiche Messungen von Waferabmessungen und Unterschichten ausgelegt. Dieses System bietet eine Vielzahl von Werkzeugen, um Waferdicke, Ebenheit, Partikelgröße und andere Eigenschaften in der Tiefe zu messen. Der Kern der ADE Microsense 4830 Einheit ist die ultrapräzise berührungslose Messtechnik. Mit dieser Methode können Sensoren Daten mit einer Genauigkeit von bis zu 0,1 Mikrometern und einer Auflösung von bis zu 1 Nanometer lesen. Diese Messtechnik basiert auf der optischen Phasenverschiebungsinterferometrie und verwendet Laserlicht, um die Oberfläche des Wafers genau zu messen. Zusätzlich kann die Maschine kleine Partikel erfassen und Partikelgrößen von 0,1 Mikrometer bis 500 Mikrometer messen. KLA Microsense 4830 Werkzeug ist für das Scannen der vollen Oberfläche von Halbleiterscheiben konzipiert. Das Asset kann Wafer bis zu 200mm handhaben, ohne dass eine manuelle Anpassung erforderlich ist. Es hat auch eine robuste Kalibrierroutine für präzise Wafermessungen jedes Mal. Neben der Messgenauigkeit und Genauigkeit verfügt das Modell TENCOR Microsense 4830 über integrierte messtechnische Verfahren für eine effektive Wafermesstechnik. Dieses Gerät ermöglicht es Benutzern, Unterschichten des Wafers ohne zusätzliche Anpassung zu analysieren. Das System bietet eine präzise 3D-Topographie der darunterliegenden Schichten und kann Tiefendaten innerhalb von 2 Nanometern sammeln. Microsense 4830 Einheit ist ein All-in-One-Paket, das eine Vielzahl von Werkzeugen und Zubehör enthält. Die Maschine beinhaltet Software zur Steuerung der Messparameter sowie eine umfangreiche Bibliothek von Wafer-Messwerkzeugen. Das Werkzeug umfasst auch eine Wafermessstation, eine Probenabtaststufe und Zubehör. ADE/KLA/TENCOR Microsense 4830 Asset ist ein fortschrittliches Wafertest- und Metrologiemodell, das präzise, volumenstarke Messungen liefert. Mit seiner berührungslosen Messung und der umfangreichen 3D-Topographie ist dieses Gerät ein unschätzbares Werkzeug für Halbleiter- und Elektronikhersteller.
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