Gebraucht ADE / KLA / TENCOR Microsense 6033T #9301384 zu verkaufen
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ADE/KLA/TENCOR Microsense 6033T ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für Halbleiterherstellungsprozesse verwendet wird. Es ist ein hochpräzises, automatisiertes System, das feine Linienbreiten und Waferdefekte mit Nanometerauflösung messen kann. ADE Microsense 6033T ist eine integrierte Messtechnik-Plattform aus mehreren Komponenten. Es verfügt über ein hochmodernes Hexa-LEXSR-Weißlicht-Interferometer, einen vollautomatischen Wafer-Mapper und Prober sowie einen erweiterten 3D-Winkelanzeiger. Es verwendet Präzisions-Roboter-Bewegungssteuerung, Submikron-Encoder und ein geräuscharmes Stereo-Zoommikroskop. Diese Kombination von Funktionen ermöglicht die effiziente Erkennung und Analyse von isolierten und parametrischen Defekten auf mikroskopischer Ebene. Das Gerät läuft auf einem Intel Rack-Mount-Prozessor, der den automatisierten Wafer-Mapper und Prober steuert. Es ist mit einem programmierbaren Logikcontroller (PLC) In-Circuit-Tester und einem Präzisions-DC-Servomotor für eine präzise Motorsteuerung ausgestattet. Zur korrekten Messung des Wafers verwendet die Maschine das Hexa-LEXSR-Interferometer und den 3D-Winkelbetrachter als optische Sensoren. Das Schwarz-Weiß-Licht-Interferometer ermöglicht präzise, rauscharme Messungen, während der 3D-Winkelbetrachter versteckte Defekte in den verschiedenen Schichten des Wafers erkennen und parametrische Defekte erfassen kann. Zur Analyse von Waferdefekten verwendet KLA Microsense 6033T fünf verschiedene Algorithmen: einen Fokusalgorithmus, der Oberflächendefekte lokalisiert; vier Bildverarbeitungsalgorithmen zum Erkennen von Fehlern; und einen Kantendetektionsalgorithmus zum Analysieren von Feinkorndefekten. Die Reihe von bordeigenen Datenerfassungsbrettern ermöglicht es dem Werkzeug, eine große Menge an Informationen mit großer Geschwindigkeit und Genauigkeit zu akkumulieren und die Orte von Fehlern zu ermitteln. Microsense 6033T ist ein leistungsstarkes Gerät weit verbreitet zur Messung von Waferdefekten. Mit seinem facettenreichen Design und den hochpräzisen Werkzeugen ist diese Ressource in der Lage, eine genaue und zuverlässige Waferanalyse bereitzustellen und die Produktivität der Prozesse zu maximieren und die Genauigkeit für die Halbleiterindustrie zu erzielen.
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