Gebraucht ADE / KLA / TENCOR Ultragage 9500 #9211013 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9211013
Wafergröße: 4"-8"
Wafer measurement system, 4"-8"
Single elevator
2D Contour map
ASC2000 Controller
Thickness centerpoint
Five point and full wafer scan
3 Point / Best fit reference: Bow and warp shape
500nm Design rule: Multifunctional dimensional measurements
GAST Vacuum pump
Data points: 8700 / 60 Seconds.
ADE/KLA/TENCOR Ultragage 9500 ist ein High-End-Wafer-Prüf- und Messtechnik-System zur Qualitätskontrolle kritischer Komponenten in der Mikroelektronik. Es bedient die anspruchsvolle Mikroelektronik-Industrie durch präzise Messungen von beliebig vielen verschiedenen Parametern. Der 9500 eignet sich hervorragend für automatisierte Prozesse und bietet branchenführende Geschwindigkeit und Effizienz bei streifen- und waferkritischen Parametern. Die eingebauten Messtechnik-Stationen messen eine Reihe verschiedener Merkmale von Wafer-Rückseite Charakterisierung, Wandler DC und AC-Parameter, Plattenhöhe und Anhebekraft. Der 9500 bietet 3D-Schichtprofilometrie und liefert genaue Informationen über die Qualität der Oberflächen eines Wafers. Seine hochauflösenden Prozesse können Oberflächenfehler und Schäden so klein wie 1um erkennen. Der einzigartige 3D-Schichterkennungsalgorithmus erzeugt genaue Messungen, die gespeichert und mit verschiedenen Wafern verglichen werden können. Dieses 9500-Modell bietet auch eine doppelte Lichtquellenkalibrierung, Schichtabtastraten bis zu 75mm pro Sekunde und eine Homepage, die für bis zu 30 benutzerdefinierte Einstellungen angepasst werden kann. Seine erweiterten messtechnischen Fähigkeiten prognostizieren ein unterschiedliches Verhalten basierend auf verwendeten Materialien, was dazu beiträgt, Kosten und Testzeit zu reduzieren. Der 9500 ist auch für seine schnellen Bearbeitungs- und Analysezeiten bekannt. Erweiterte Nachbearbeitungsfunktionen können schnell Ergebnisse mit mehreren Analysestufen generieren, wodurch zusätzliche Tests entfallen. Darüber hinaus bietet die benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) verschiedene voreingestellte Konfigurationen, um die Tests anzupassen. Diese 9500 modellspezifische GUI bietet hilfreiches Echtzeit-Feedback sowie alle Standardstatistikparameter, um eine maximale Kontrolle über den Testprozess zu gewährleisten. ADE Ultragage 9500 bietet das Beste in der Präzisionsmesstechnik mit einer breiten Palette von Parametern, um eine kritische Qualitätskontrolle von Wafern zu gewährleisten. Mit umfassenden messtechnischen Werkzeugen, Statik, Postprozessmerkmalen, Schnellbearbeitungslösung und anpassbaren GUIs ist die KLA Ultragage 9500 ein hervorragendes System zur Prüfung und Qualitätskontrolle der Mikroelektronik.
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