Gebraucht ADE / KLA / TENCOR UltraGage 9520 #9245050 zu verkaufen
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ID: 9245050
Dimensional measurement system
ASC200 Controller included
Thickness: ± 1.00µ
Shape (Bow / Warp):
±( 3.00 + 5% of reading) µm
±( 4.00 + 5% of reading) µm
Global flatness: ± 0.50 µm
Integral wafer centering and pre-aligner
Backside contacting chuck
Vacuum chuck diameters:
Small (23.3 mm): 3", 100 mm -150 mm wafers
Large (33.4 mm): 125 mm- 200 mm wafers
Wafer contact materials:
Resting pads: Santoprene
Vacuum chuck: Polyurethane
Nominal wafer thickness range: 250 µm - 750 µm
Auto-loader:
Single / Dual cassette
Sorting: Slot-to-slot / Cassette-to-cassette
Backside contact, horizontal cassette orientation
Wafer contact material: Teflon
Nominal wafer thickness range: 250 µm - 750 µm
Conductivity type: P / N
Edge exclusion:
Thickness: 3 mm / 5 mm
Shape: 3 mm
Nominal wafer thickness: 250 µm - 750 µm
Resistivity: > 0.1-200 Ω cm
Edge gradient: 0.1 µm/mm
Power supply:
Temperature range: 12.7°- 29.4° C (55° - 85° F)
Relative humidity: 55 to 95% non-condensing
Vacuum: 0.6 SCFM, 635 mm (25") Hg ± 10%
Peak usage: 2.8 kVA
Voltage: 100/120/200/208/220/230/240 VAC ± 10%
50/60 Hz, Single phase.
ADE/KLA/TENCOR UltraGage 9520 ist eine hochentwickelte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die den Branchenmaßstab für fortschrittliche automatisierte Messtechnik-Lösungen setzt. Dieses hochmoderne System kombiniert Präzisionstechnologie, innovative Designfunktionen und robuste Softwarefunktionen, um beispiellose Genauigkeit, Wiederholgenauigkeit und Effizienz in Halbleiterherstellungsprozessen zu bieten. Das Herzstück von ADE UltraGage 9520 ist seine fortschrittliche Messtechnologie, die proprietäre Algorithmen und Sensorsysteme nutzt, um Subnanometer-Auflösung und außergewöhnliche Präzision bei kritischen Wafermessaufgaben zu erreichen. Das Gerät ist mit einer hochauflösenden optischen Inspektionsmaschine, Laserverdrängungssensoren, Kapazitätssensoren und anderen hochmodernen Sensoren ausgestattet, um Wafertopographie, Dicke, Folieneinheitlichkeit und Fehlererkennungsdaten mit unübertroffener Genauigkeit und Zuverlässigkeit genau zu erfassen. Eines der wichtigsten Merkmale, das KLA 9520 UltraGage auszeichnet, ist sein vielseitiges und modulares Design, das eine nahtlose Integration in bestehende Wafer-Produktionslinien und eine anpassbare Anpassung an spezifische Fertigungsanforderungen ermöglicht. Das Tool bietet eine Reihe von Wafer-Handling-Konfigurationen, einschließlich Einzelwafer und Batch-Bearbeitungsmodi, sowie Kompatibilität mit verschiedenen Wafergrößen, Materialien und Prozesstechnologien, was es zu einer vielseitigen Lösung sowohl für F&E als auch für Produktionsumgebungen mit hohen Stückzahlen macht. Die intuitive Benutzeroberfläche und die leistungsstarke Softwareplattform von UltraGage 9520 bieten Anwendern erweiterte Datenanalysetools, Visualisierungsfunktionen und Echtzeit-Überwachungsfunktionen, um den Inspektions- und Messtechnik-Workflow zu optimieren. Das Asset kann umfassende Wafer-Maps, 3D-Topographiebilder und statistische Analyseberichte erstellen, um Prozessoptimierung, Fehlerursachenanalyse und Qualitätskontrollinitiativen bei der Halbleiterherstellung zu erleichtern. Zusätzlich zu seinen fortschrittlichen Messfunktionen ist 9520 UltraGage für hohen Durchsatz und betriebliche Effizienz konzipiert, mit schnellen Datenerfassungsraten, schnellem Laden und Entladen von Wafern und automatisierten Messroutinen, um Ausfallzeiten zu minimieren und die Produktivität in einer Produktionsumgebung zu maximieren. Das Modell wurde entwickelt, um die hohen Anforderungen der modernen Halbleiterherstellung zu erfüllen und bietet robuste Leistung, Zuverlässigkeit und Wartungsfreundlichkeit, um dauerhafte operative Exzellenz und langfristigen Wert für Kunden zu gewährleisten. Insgesamt stellt TENCOR UltraGage 9520 eine hochmoderne Lösung für Wafer-Tests und messtechnische Anforderungen in der Halbleiterindustrie dar, die Präzisionsmesstechnik, vielseitige Designmerkmale und leistungsstarke Softwarefunktionen kombiniert, um eine überlegene Prozesssteuerung, Ertragsoptimierung und Qualitätssicherung in fortschrittenen Halbleiterherstellungsprozessen zu ermöglichen. Mit seiner außergewöhnlichen Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Effizienz ist KLA UltraGage 9520 ein vertrauenswürdiges Werkzeug für Halbleiterhersteller, die höchste Standards in Bezug auf Qualität, Leistung und Innovation in der Waferproduktion erreichen möchten.
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