Gebraucht ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9300 #9036357 zu verkaufen

ID: 9036357
Wafer inspection system (2) Send stations (3) Receive stations No E-Station Pre-aligner station Hi Res station Lo Res station Typing station: Contact style Single End Effector Robot ASC Computer / controller Backup software tapes and hard drive Electronic rack with power supply ADE 350 Robot control Light curtain Single / Dual end effector robot.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9300 ist eine Wafertest- und Messtechnik-Ausrüstung, mit der Ingenieure die Leistung integrierter Schaltungen während des Produktionsprozesses messen können. Es wird verwendet, um Nichtkonformitäten in Chips und Subsystemen während des Rückbearbeitungsprozesses zu erkennen, indem komplexe Metriken wie optoelektronische Messtechniken, Fehlerbildgebung und Partikelgrößenanalyse verwendet werden. Das System bietet bis zu drei synchron gesteuerte Bildgebungsmodalitäten: Laserstreuung (LS), Dunkelfeld (DF) und Hellfeld (BF), die eine visuell genaue Fehlererkennung und eine präzise automatische Fehlerklassifizierung ermöglichen. Die Fehlererkennung wird durch leistungsstarke Programmieralgorithmen unterstützt, die die Identifizierung von linearen, vektor- und Chip-Fehlern ermöglichen. Der ADE UltraScan 9300 ist auch mit einem integrierten PC für die Verwaltung von Waferdaten und erweiterten Algorithmen zur Überprüfung der Datengenauigkeit ausgestattet. Die Hardware ist in eine 4-achsige Robotermessplattform integriert, um die Wafer-zu-Wafer-Konsistenz zu verbessern und Fehlalarme zu reduzieren. Es hat einen oberstufigen, polarisierenden Filter und lichtstreuenden Detektor, beide mit anpassbaren Passbandzentren für präzise Messungen. In Bezug auf die Funktionsweise nimmt die Maschine Eingang von der Primärmessung, wie Laserstreuung (LS) oder Dunkelfeld (DF), und bewertet mehrere Parameter einschließlich Kontrast, Auflösung, Rauschen, Hintergrundrauschen und Gleichmäßigkeit. Es wandelt dann die gemessenen Daten in nützliche Performance-Metriken um, mit Datenerfassung und Analyse in den Bereichen lineare Intensität, Vektorintensität und Die-to-Die-Gleichmäßigkeit. Das Tool umfasst auch Aspekte der Software von Smartyield, die die Rückverfolgung einzelner Fehler auf dem Chip und die anschließende Identifizierung betroffener elektrischer Komponenten ermöglicht. Auf diese Weise können Ingenieure Nicht-Konformitäten schnell und genau isolieren und entsprechend anpassen. Zusammenfassend ist KLA ULTRA SCAN 9300 ein fortschrittliches Wafer-Test- und Messtechnik-Asset, das präzise Messfunktionen mit mehreren bildgebenden Modalitäten, zahlreichen Datenanalysemethoden und einem leistungsstarken On-Board-PC für verbessertes Datenmanagement und Feedback-Monitoring bietet. Es kann einzelne Mängel zurückverfolgen und Nichtkonformitäten isolieren, sodass Ingenieure Probleme schnell und effizient angehen können.
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