Gebraucht ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9300 #9101898 zu verkaufen
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ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9300 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für hohe Genauigkeit und Durchsatz für die Waferfertigung entwickelt wurde. Mit der CNIS-Technologie (Contactless Non-Inductive Scanning) scannt dieses System schnell komplette Waferoberflächen in einem Durchgang und bietet eine schnelle und wiederholbare Wafer-Messtechnik. Die laserbasierte Abtasteinheit ermöglicht die Messung von Waferparametern wie Front- oder Rückseitentopographie, Referenzflache, Stoßhöhe und strukturierten Merkmalen auf einer vollen Waferoberfläche. Durch die Kombination von schnellen Messgeschwindigkeiten mit reduzierten Schäden und Vibrationen an der Waferoberfläche bietet der ADE UltraScan 9300 die Genauigkeit und Wiederholbarkeit, die in der Halbleiterherstellung erforderlich sind. KLA ULTRA SCAN 9300 verwendet eine Reihe patentierter Funktionen, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Seine vertikalen Stufen ermöglichen eine präzise Messung über den gesamten Wafer und ihre hohen Abtastgeschwindigkeiten ermöglichen eine schnelle Zykluszeit. Die CNIS-Scanmaschine verwendet ein optisches Mikroskop, das auf einem Flexstage montiert ist, um den Wafer zu scannen, ohne ihn zu kontaktieren, wodurch eine hohe Genauigkeit gewährleistet wird, ohne die Waferoberfläche zu beschädigen. Das laserbasierte Scanwerkzeug eliminiert Vibrationen und Bewegungsartefakte, die die Messgenauigkeit beeinträchtigen. UltraScan 9300 bietet zudem eine integrierte Prozesssteuerung und Datenanalyse und ist damit ein idealer Bestandteil für die Waferfertigung. Das Modell verfolgt die Werkzeugleistung, um produktionsübergreifend wiederholbare Ergebnisse sicherzustellen. Datenanalysefunktionen ermöglichen vorausschauende Wartung, Wafer- und Defektkarten, Fehlertrendenzanalysen und Prozesserträge. Es unterstützt auch eine Reihe von Algorithmen und statistischen Techniken. ADE/KLA/TENCOR ULTRA SCAN 9300 beinhaltet neben seinem umfassenden Set an Onboard-Mess- und Messtechnikwerkzeugen auch Software für eine benutzerfreundliche Bedienung. Die Software ist anwenderkonfigurierbar und kann auf bestimmte Wafer oder Produktionseinstellungen zugeschnitten werden. Es enthält auch Tools zum Lesen und Analysieren von Daten, globale Einstellungen sowie zum Protokollieren und Plotten von Ergebnissen. ULTRA SCAN 9300 ist die perfekte Ausrüstung für Wafertests und Messtechnik und liefert präzise und wiederholbare Ergebnisse mit hohem Durchsatz. Das fortschrittliche CNIS-Scanning, die integrierte Prozesssteuerung und die konfigurierbare Software machen es zu einem idealen Werkzeug für die Halbleiterherstellung.
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