Gebraucht ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9300 #9241348 zu verkaufen
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ID: 9241348
Wafer inspection system
E+ Station
Pre-aligner station
(2) Send cassettes
Single end effector robot
ASC System controller
Options:
(3) Receive cassettes
Dual high / Low res station
Light curtain
Dual end effector robot
Wafer typing
ASC 2000 System controller.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9300 ist eine leistungsstarke und vielseitige Lösung für Wafertests und Messtechnik. Es ermöglicht Herstellern, Fehlerzustände in ihren Wafern effektiver zu verfolgen, was eine verbesserte Prozesssteuerung und Ertragssteuerung bei der Halbleiterherstellung ermöglicht. Das System bietet High-Speed-Wafer-Scan und Analyse in 2D- und 3D-Formaten bei Auflösungen bis zu 1,35 µm. Es ist mit 10x und 4x optischen Mikroskopen ausgestattet, beide mit erweiterten Bildverarbeitungsfunktionen. Ein automatischer Mikroskopstufenregler ermöglicht eine genaue Positionierung mit X-Y-, Z-Achsen-Bewegung und einem eingebauten Kalibrierprofil. Neben der präzisen Wafer-Zuordnung bietet ADE UltraScan 9300 auch eine automatisierte Fehlererkennung, die eine schnellere und genauere Fehleranalyse ermöglicht. Die Optik des Geräts ist darauf abgestimmt, die Bildaufnahme unter verschiedenen Bedingungen zu optimieren. Sein Hochleistungslaser und seine Sensoren können sowohl die Vorwärts- als auch die reflektierte Lichtdurchlässigkeit messen und eignen sich somit gut für Waferdickenmessungen und isolierte Partikelanalysen. Die Maschine kann auch kritische Parameter wie Kontaktwiderstand, Reflow-Lötdeckung, Oberflächenrauhigkeit und dielektrische Schichtdicke überwachen. Seine intuitive Software-Oberfläche bietet eine leistungsstarke Reihe von Funktionen für Wafer-Tests und Messtechnik. Dazu gehören 3D und Multi-Slice-Bildgebung, leistungsstarke Bildsegmentierungsfilter, automatisierte Ergebnisverarbeitung und eine Reihe von Werkzeugen zur Kalibrierung nach dem Prozess zur genauen Messung und Fehleranalyse. Die Software bietet auch angepasste Exportoptionen für Daten, Bilder und Berichte. KLA ULTRA SCAN 9300 ist einfach zu installieren und zu warten und soll Ausfallzeiten minimieren. Sein robustes Design ist für den Reinraumbetrieb zertifiziert und so gebaut, dass es den Umgebungsbedingungen einschließlich Vibrationen und Schocks standhält. Insgesamt ist ADE/KLA/TENCOR ULTRA SCAN 9300 ein zuverlässiges, hochgeschwindiges, hochpräzises Wafertest- und Messtechnikwerkzeug, das entwickelt wurde, um zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse zu liefern. Mit seinen automatisierten, intuitiven Werkzeugen und Funktionen kann es dazu beitragen, die Prozesssteuerung und das Ertragsmanagement bei der Halbleiterherstellung zu verbessern.
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