Gebraucht ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9300 #9281937 zu verkaufen
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ID: 9281937
Wafergröße: 4"-8"
Wafer inspection system, 4"-8"
E Station for flatness / Thickness / Bow / Warp measurement
Hi-Res probe for high resistivity measurement
ASC 2000 Controller
ARM350 Robot controller
(5) Cassette stations:
(2) Receiver
(3) Sender.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9300 Wafer Testing and Metrology Equipment ist ein leistungsstarkes, berührungsloses Multi-Die Metrologie-Instrument, das für fortschrittliche Halbleiterentwicklung entwickelt wurde und unvergleichliche Leistung und Genauigkeit liefert. Die patentierte Architektur des Instruments ermöglicht die automatisierte Erfassung ultrahochauflösender Bilder von bis zu 9300 zusammenhängenden Werkzeugen auf einem Wafer in wenigen Minuten und aus mehreren Perspektiven. Das bildgebende System verwendet ein Array von LEDs, um die Waferoberfläche aus vier Winkeln aktiv zu beleuchten. Diese Beleuchtung sorgt dafür, dass alle Merkmale der Matrize sichtbar sind und erhöht den Kontrast der Strukturen. Die Kombination aus dieser Beleuchtung und proprietärer Optik ermöglicht die Bildung von Bildern mit einer effektiven Auflösung von 0,63 μ m pro Pixel. Nach der Erfassung werden die Rohbilddaten mithilfe einer integrierten Suite fortschrittlicher Algorithmen verarbeitet, um verschiedene Parameter wie die Standorte, Größe und Form, elektrische Eigenschaften, Geräteausbeute und Defektivität zu messen. Die Genauigkeit der Messungen wird durch statistische Verarbeitung von Wiederholbildern und fortschrittliche zerstörungsfreie Testfunktionen gewährleistet, die eine funktionsorientierte Messtechnik ermöglichen. Die Einheit enthält auch eine integrierte Analyseumgebung für die Überprüfung der Ergebnisse und die effektive Visualisierung von Daten. Neben der Bild- und Prozessanalyse umfasst ADE UltraScan 9300 hochrangige Datenverwaltungstools zur Koordinierung und Archivierung von Messergebnissen. Die Maschine kann für die automatische Messausführung programmiert und mit mehreren Laborautomatisierungssystemen verbunden werden. Diese Fähigkeit ermöglicht die Datenerfassung mit jeder Frequenz von einem einzelnen Wafer bis zum vollen Retikel. KLA ULTRA SCAN 9300 bietet eine spannende Kombination aus Bildverarbeitung, Analyse und Ergebnismanagement und ist damit das ideale Werkzeug für industrielle und forschende Wafertests und Messtechnik. Die große Flächenabdeckung und extrem hohe Auflösungsfähigkeit sorgen dafür, dass alle Funktionen auf dem Wafer genau charakterisiert werden können. Mit seiner hochrangigen Datenverwaltungsfunktion ermöglicht TENCOR UltraScan 9300, Messungen über lange Zeiträume effektiv zu speichern und abzurufen, was es zu einem unschätzbaren Forschungstool macht.
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