Gebraucht ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9600 #293606848 zu verkaufen
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ID: 293606848
Weinlese: 2003
Wafer metrology system
Single fork robot
ASC 2000
Hard Disk Drive (HDD)
Computer
E+ Station
No L
2003 vintage.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9600 ist eine leistungsstarke Ausrüstung für Wafertests und Messtechnik. Diese hochmoderne 5-Achsen-Lösung bietet eine breite Palette fortschrittlicher Mess- und Bildgebungstechniken wie optische Spektroskopie, konfokale Mikroskopie, Thermoreflektanzmikroskopie und Streuung und ermöglicht eine präzise und hochgenaue Fehlercharakterisierung auf modernen Halbleiterbauelementen. Der ADE UltraScan 9600 verfügt über eine automatisierte Bühne, eine Vielzahl optionaler Wafer-Manipulatoren und ein Fokus/Fokus-Kontrollsystem mit geschlossener Schleife, das eine einfache und effiziente Handhabung von Wafern über die gesamte 5-Achsen-Ebene ermöglicht. Die umfassende Elektronikpaket- und Scantechnologie dieser Plattform bietet eine hohe Genauigkeit und Präzision für Fehlermessungen sowie eine intuitive und effiziente Bedienung des Benutzers. Mit seiner hochauflösenden CCD-Bildgebungseinheit und leistungsstarken Bildnahtfunktionen können Benutzer lithografische Bilder schnell erfassen, speichern und analysieren. Darüber hinaus bieten die erweiterten Automatisierungsfunktionen von KLA ULTRA SCAN 9600 außergewöhnlich hohe Durchsatz- und Wafer-zu-Wafer-Konsistenz, sodass Anwender kleine Partikel, Defekte und andere Unregelmäßigkeiten auf Oberflächen schnell erkennen können. Die leistungsstarke Software-Suite bietet zudem eine Reihe leistungsstarker Tools, darunter eine webbasierte Datenerfassungs- und -analyse-Schnittstelle, eine umfassende Fehlerdatenbank und umfassende automatisierte Test-Suite-Steuerungen. TENCOR ULTRA SCAN 9600 bietet auch exklusive, zum Patent angemeldete On-Wafer-Wafer-Kitting-Funktionen, die die genaue Herstellung kleiner Geräte mit wiederholbaren Ergebnissen ermöglichen. Dank seiner leistungsstarken optischen Messtechnik können Anwender Muster kalibrieren und Sonden für kleinste Funktionen entwickeln, was eine außergewöhnliche Genauigkeit und Wiederholbarkeit ermöglicht. In Kombination mit der fortschrittlichen Bildverarbeitung und Fehlercharakterisierungstechniken der Maschine können Benutzer eine Vielzahl von mikroskopischen Defekten für erhöhte Genauigkeit und Ertrag genau erkennen und isolieren. Insgesamt ist ADE/KLA/TENCOR ULTRA SCAN 9600 ein außergewöhnliches Wafer-Test- und Messtechnik-Tool für die anspruchsvollsten Anwender. Mit seiner hochpräzisen Optik, fortschrittlicher Automatisierung und leistungsstarker Software eignet sich dieses Asset gut für die Herstellung von Wafern mit hohem Volumen und den stetig steigenden Anforderungen an Genauigkeit, Geschwindigkeit und Wiederholbarkeit bei der Fehlermessung und -analyse.
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