Gebraucht ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9600 #9200036 zu verkaufen

ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9600 ist eine moderne Wafer-Prüf- und Messtechnik für die Halbleiterindustrie. Es wurde entwickelt, um Forschungs- und Entwicklungswissenschaftlern eine leistungsstarke Suite von modularen Testinstrumenten zur Durchführung fortschrittlicher Wafer-Level-Messungen anzubieten. UltraScan ist in der Lage, die Messtechnik einer Vielzahl von Testparametern wie Spannung/Dehnung, Foliendicke, Oberflächeneigenschaften, elektrische Eigenschaften und mehr zu automatisieren. Es kann die Struktur, Eigenschaften und chemische Zusammensetzung von Wafern mit hoher Genauigkeit messen und kann für eine breite Palette von Oberflächen- und Tiefenmesstechnik verwendet werden. Das System hat ein 514mm ² Sichtfeld, eine 12,6 μ m Bildfleckengröße und eine 0,6nm Auflösung. Es kann je nach erforderlicher Messung bis zu 8 Wafer pro Stunde mit einem Prozessdurchsatz von 15 bis 40 Minuten pro Wafer verarbeiten. Das Gerät ist mit einer Abbildungsmaschine bestehend aus einem ladungsgekoppelten Gerätesensor (CCD) und einem optischen Mikroskop zur Erfassung der Messinformationen auf der Oberfläche des Wafers ausgestattet. Es kann Testbilder mit hochpräziser Kalibrierung auslesen, analysieren und speichern. Dieses Abbildungswerkzeug dient auch zur Fokussierung, Positionierung und berührungslosen Flächenausrichtung. Die Anlage ist in der Lage, eine breite Palette von Proben zu nehmen, wie Silizium-auf-Isolator, mehrschichtige Wafer, dünne Filme, Polysilizium, Wafer-Ebene Verpackung, und andere. Es hat auch die Fähigkeit, eine Vielzahl von Messtechniken zu unterstützen, wie Axialscan, Stresstest und Ätztiefe. ADE UltraScan 9600 wird von einer benutzerfreundlichen Oberfläche aus gesteuert und überwacht. Es unterstützt Datenübertragung, -analyse und -speicherung über lokale oder weiträumige Netzwerke. Es ist mit einem integrierten Softwaremodell ausgestattet, das die automatische Diagnose und Sortierung von Wafern unterstützt. Schließlich ist die Ausrüstung für einfache Wartung und Reparatur ausgelegt. Insgesamt ist KLA ULTRA SCAN 9600 ein leistungsfähiges Wafer-Prüf- und Messsystem, das hochgenaue Messungen bietet und eine Reihe von anwenderdefinierten Anwendungen unterstützen kann.