Gebraucht ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9800 #9397208 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9397208
Wafergröße: 6"
Wafer characterization system, 6"
Non-functional parts:
ASM 9800 E-Squared module
ASM Vacuum chuck, 200 mm diameter.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9800 ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik, die in der Lage ist, Informationen auf Waferebene zu erhalten, die für effiziente Fertigungsprozesse unerlässlich sind. Dieses System ist ideal für automatisierte elektrische Test-, Bildgebungs- und mikro/nanoskalige messtechnische Anwendungen. ADE UltraScan 9800 kann Chips mit beeindruckenden Auflösungen bis zu 0,05 µm abbilden und bei hohen Geschwindigkeiten detaillierte elektrische Eigenschaften wie Widerstand, Kapazität und Leckstrom erhalten. Diese kombinierte Fähigkeit ist sowohl für Produktions- als auch für Entwicklungsumgebungen von unschätzbarem Wert, mit Bildgebungsgeschwindigkeiten bis zu 25kHz für einzelne Spots. Einzigartig, KLA UltraScan 9800 kann winzige Defekte und Hindernisse mit Höhenauflösung von 0,2 nm zu erkennen, so dass es vorteilhaft in der Halbleiterindustrie. UltraScan 9800 kann auch Halbleitersubstrate bis 200 mm Durchmesser messen, mit einer Wiederholbarkeit und Genauigkeit besser als ± 0,02 µm. Seine automatisierte Vision-Einheit führt die schnelle und präzise Positionierung der Werkzeugzentren und jedes einzelnen Chips mit der Fähigkeit, verschiedene Bildbereiche und Auflösungen für verschiedene Standorte zu handhaben. Das beeindruckendste Merkmal des TENCOR UltraScan 9800 ist seine Vision-Kompensation. Diese Maschine kann eine breite Palette von Vision-basierten Operationen durchführen, wie Mapping, Overlay und Bildkorrektur. Das Vision Compensation Modul von ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9800 kann durch den Einsatz fortschrittlicher Feedback-Steuerungssysteme automatisch eine gewünschte Ausrichtung und Position eines Wafers unter bildgebenden Bedingungen beibehalten. Darüber hinaus kann es auch erkennen, inspizieren und Mängel so klein wie 0,1 µm über eine breite Palette von Wafer-Substraten. In puncto Sicherheit entspricht der ADE UltraScan 9800 den EU, US und japanischen Standards und verfügt über ein benutzerfreundliches Interface-Panel. Alle Vorgänge sind schmierfrei und entsprechen den FDA-, RoHS- und CSA-Vorschriften. Darüber hinaus kann das Tool mit API-Kits in die vorhandene Software des Kunden integriert werden, was die Verwendung noch komfortabler macht. Abschließend ist KLA UltraScan 9800 eine ideale Lösung für genaue und zuverlässige Wafertests und messtechnische Anwendungen. Mit seinen Hochgeschwindigkeits-Bildgebungs- und Messtechnik-Funktionen ist diese Ressource für zuverlässige Ergebnisse in Produktions- und Forschungsumgebungen konzipiert. Dieses Modell entspricht einer Vielzahl von Sicherheitsvorschriften und ist mit der bestehenden Software kompatibel und somit eine perfekte Wahl für die Halbleiterindustrie.
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